WO2014076090A1 - Verfahren und vorrichtung zum transport flacher substrate - Google Patents

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WO2014076090A1
WO2014076090A1 PCT/EP2013/073635 EP2013073635W WO2014076090A1 WO 2014076090 A1 WO2014076090 A1 WO 2014076090A1 EP 2013073635 W EP2013073635 W EP 2013073635W WO 2014076090 A1 WO2014076090 A1 WO 2014076090A1
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substrate
transport
transport channel
liquid medium
openings
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PCT/EP2013/073635
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Daniel Kray
Hannah BANZHAF
Teresa FRENSSEN
Patrick NOWACK
Sofia REIM
Christian SAUTERMEISTER
Alexander Schwarz
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Hochschule Offenburg
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Definitions

  • the invention relates to the field of transport of flat substrates such as silicon substrates.
  • the invention relates to the particularly gentle and continuous transport of such substrates.
  • the basis of electrical and electronic components such as integrated circuits or solar cells usually forms a flat substrate. This is typically obtained from silicon, which is often initially present as a single crystal (ingot), and from which subsequently flat plates, so-called wafers, are produced via a sawing process.
  • silicon which is often initially present as a single crystal (ingot)
  • wafers so-called wafers
  • a number of wafers are space-savingly inserted into a carrying device (carrier), the surfaces of the wafers being spaced apart and parallel to one another.
  • the wafers are continuously transported through the treatment liquid using rotating rollers on which the wafers rest. Possibly. are still hold-down to prevent floating of the substrates, as proposed for example in the publication WO 03/086914 AI. - -
  • the object of the invention is to avoid the disadvantages known from the prior art. Accordingly, the invention should reduce mechanical stress and thus failure rate of flat, fragile substrates during their transport and at the same time have the lowest possible area consumption. Furthermore, it should be suitable both for the mere transport and for wet-chemical treatment of the substrates in a continuous manner.
  • the invention is based on the recognition that a space-saving transport of flat substrates by a vertical alignment of the same is possible. Accordingly, the invention relates to a method for transporting a vertically oriented flat substrate with two flat sides in a transport direction.
  • the transport takes place within a transport channel, at least partially filled with a liquid medium, two walls and possibly a bottom transport channel, wherein the liquid medium flows against at least one of the flat sides of the substrate and at least one of the sum of weight and buoyancy of the substrate Partially repealing support component and directed in Transporttrich ⁇ tion feed component, so that the substrate is carried and transported without mechanical aids.
  • the transport takes place substantially horizontally, with a slight downward and / or upward movement of the substrate is covered by the horizontal transport.
  • the extension and retraction of the substrate into the liquid or from the liquid medium can be partially or completely vertically.
  • the liquid medium flows against both flat sides of the substrate, since a simple centering of the substrate in the transport channel is thus achieved.
  • the liquid medium flows only against one of the two flat sides of the substrate, while against the not to be contacted with the liquid medium flat side of the substrate flows another (other) fluid medium such as a gas or gas mixture, so that the transport channel only one side of the substrate and thus only partially filled with the liquid medium.
  • the weight force results from the mass of the substrate.
  • the opposing (total) buoyancy force results from the static buoyancy caused by the displacement of the surrounding medium and the dynamic buoyancy caused by the flow around it. It includes definitions ⁇ according to a caused for example by adhering gas bubbles change the buoyancy conditions.
  • the support component is directed against gravity because the plurality of conceivable substrate materials tends to sink in a liquid. Exceptions arise, however, in that gas bubbles form and / or adhere to the surface of the substrate, which in total can lead to a buoyancy of the substrate. In these cases, it is appropriate to align the support component in the direction of gravity. In addition, it is not absolutely necessary to provide a constantly oriented carrying component along the transport path. In the case of an increase in blistering along the transport path, a progressive loss of material due to surface erosion, or generally a change in the sum of buoyancy and weight, it may be necessary to vary the orientation in the transport direction to achieve the desired effect of (horizontal) support to ensure.
  • the substrate (controlled) sink or rise which in turn is possible by adjusting the alignment accordingly.
  • the carrying component only partially lifts the sum of the weight and buoyancy of the substrate.
  • the feed component directed in (or, for a reverse transport,) of the transport direction must at least temporarily be present in order to impart a feed force to the substrate.
  • the substrate is in the - -
  • the invention reduces a mechanical stress and thus breakage rate of flat, fracture-prone substrates during their transport and at the same time has the lowest possible surface area, since a substrate transported substantially horizontally in a vertical orientation requires significantly less space than one transported in a horizontal orientation. Furthermore, the invention is suitable both for the mere transport and for the wet-chemical treatment of the substrates in a continuous manner.
  • the liquid medium is a treatment liquid for wet-chemical treatment of the substrate.
  • this includes, for example, DI water
  • the corresponding treatment is then a cleaning.
  • a modification of the substrate for example a cleaning, etching, surface modification (doping) or coating (deposition) takes place simultaneously with the transport and, depending on the type of treatment liquid.
  • the support component and / or the feed component is provided by inflow openings arranged laterally and / or underneath the substrate in the walls or in the bottom or a lower region of the transport channel and / or through discharge openings in the bottom or lower region of the transport channel.
  • the inflow openings are aligned such that the liquid medium flowing out of them effects the effect provided by the invention.
  • correspondingly positioned outflow openings are included for this purpose;
  • a downward support component can be provided by that below the - -
  • Substrate (in the bottom or bottom of the transport channel) discharge openings are arranged, the suction of which seeks to pull the substrate down.
  • the resultant of the carrying and advancing components has a component oriented in the direction of gravity. This means that in this area the substrate experiences a downward total force, which leads to a sinking of the substrate into the transport channel. In this way, the controlled retraction of the substrate is made possible in the transport route.
  • the resultant of carrying and advancing component has a component directed counter to the force of gravity, which leads to a lifting of the substrate at the end of the transport path and a removal thereof from the liquid Medium relieved.
  • the end face of the transport channel also has at least one inflow opening in its substrate inlet region, through which liquid or another fluid can be introduced into the channel. Since the fluid introduced in this way flows in the transport direction, the feed component desired according to the invention can be supported or even provided alone. Further or additional means for introducing or removing the substrate into and out of the transport channel are e.g. mechanical grippers, vacuum grippers or mechanical guides into consideration.
  • the same volume flow is applied to all inflow openings, with the exception of the inflow openings arranged in an optionally existing inlet area and / or outlet area. If desired, along the transport
  • the varying support component is preferably achieved in that the flow cross sections and / or the number or distribution of the inflow openings are adapted accordingly.
  • Such a liquid supply has the advantage of a correspondingly simple construction.
  • the liquid medium which is then a "first" liquid medium, flows against a flat side of the substrate, and another fluid medium is provided which flows against the other flat side.
  • the other medium may or may not be liquid.
  • the further fluid medium is a gas or gas mixture, so that treatment takes place on both sides.
  • the treatment can be predominantly one-sided. It is open whether the treatment is carried out by the liquid (wet-chemical) or by the gas. It is clear that in this case the transport channel is only one-sided of the substrate, i. only partially filled with a liquid medium.
  • the (at least one) liquid medium examples include a texturing solution, a cleaning solution or an etching solution. As already mentioned, however, it can also be a neutral liquid, such as, for example, di-water, which serves primarily to transport the substrate without modifying it, but if necessary to clean or keep it clean. - -
  • gas for example ozone
  • ozone is additionally injected into the (at least one) liquid medium.
  • Enrichment with a gas can influence the wet-chemical reaction or even initiate it.
  • the gas, in particular the ozone, can also be used to clean the substrate surface.
  • Heating or cooling of the media can also be advantageous. Likewise, reuse or at least recycling of the media is preferred. Particularly preferably, a metered addition of fresh media to the already in circulation media to ensure a consistent quality of the treatment liquid.
  • the invention also discloses an apparatus for carrying out the method according to the invention.
  • Such a device for the vertical transport of a flat substrate in a transport direction has a laterally delimited by two walls transport channel for receiving a liquid medium and for receiving within this medium in a vertical orientation leading substrate with two flat sides, wherein the transport channel in his by the Walls formed wall portion has inflow openings, from which liquid medium against at least one of the two flat sides of the substrate can be dispensed in such a way that a the sum of weight and buoyancy of the substrate at least partially repealing and supporting the substrate support component and directed in the transport direction and the Substrate transporting feed component results, so that the substrate can be carried and transported without mechanical aids.
  • inflow openings need not necessarily be provided by openings in the wall of the transport channel. Also nozzles, which are on the inside of the wall of the - -
  • Transport channels are attached to this and, for example, through lines, which also extend along the inside of the wall, provide inlet openings of the type according to the invention.
  • the inflow openings may also be provided by a porous material such as a sintered ceramic or sintered metal. This is particularly advantageous if a one-sided treatment is to take place in which one side of the substrate is to be protected by a carpet of gas bubbles from the liquid medium. It is clear that these inflow openings are then also suitable for dispensing a gaseous medium, and that these inflow openings are particularly preferably arranged only on the side of the transport channel which faces the side of the substrate to be protected from the liquid.
  • the arrangement of the inflow openings be symmetrical or at least functionally symmetrical on both sides of the substrate.
  • the latter means that the arrangement is not symmetrical at a short distance, but for example alternately or offset, but that the force components desired according to the invention can be formed over a longer distance and act on the substrate.
  • the end face of the transport channel also has at least one inflow opening in its substrate inlet region, through which liquid or another fluid can be introduced into the channel. Since the fluid introduced in this way flows in the transport direction, the feed component desired according to the invention can be supported or even provided alone.
  • outflows are located in the lower region or in the optionally present bottom of the transport channel. - -
  • Openings arranged for the liquid medium can serve to generate a suction, which provides a downwardly facing carrying component.
  • an excess of liquid medium overflows the top edge (s) of the transport channel. Only an (exclusive) overflow at the upper edge located at the end of the transport path ("end edge") may be desirable in order to provide for the provision of the feed component according to the invention in this manner without any further design complexity.
  • the device according to the invention comprises a substrate inlet region arranged at the beginning of the transport channel, whose inflow and possibly existing drainage openings are arranged and aligned in such a way that the resultant of carrying and feed component has a component directed in the direction of gravity. It is likewise preferred that the device comprises a substrate outlet region arranged at the end of the transport channel, whose inflow and possibly existing drainage openings are arranged and aligned in such a way that the resultant of carrying and feed component has a component directed counter to the force of gravity. These two areas therefore serve the simple introduction or removal of the substrate in or out of the transport channel.
  • the device according to the invention for example by successively changing the flow, force a lateral rotation, a sinking or a floating of the substrate, so that the substrate from the vertical orientation in a horizontal orientation or can be converted back again.
  • the transport channel has a rectangular or V-shaped cross section.
  • the depth at least slightly exceeds the corresponding dimension of the substrate, for example by 10% to 30%. In areas where greater vertical movement of the substrate is to be expected, for example in the entrance area, the depth should be correspondingly greater, for example by 30% to 100%.
  • the width of the cross section should preferably be as small as possible in order to minimize the footprint of the device according to the invention. At the same time, however, attention must be paid at all times to the feasibility of the flow conditions according to the invention (carrying and feed components). Of course, the width can also be made variable, with a constant width is structurally preferred.
  • the transport channel should preferably be smooth and without projections. For this reason, as openings are preferred openings in the walls instead of patch nozzles.
  • the invention provides that the device comprises a plurality of parallel transport channels. These are arranged as close to each other as possible to keep the footprint as low as possible.
  • the transport channels may all be the same or different. You can also serve to perform the same or different treatment steps.
  • an example meandering sequence of several, then modular ausgestalteter transport routes is possible. Mechanical, liquid or gas-based "locks" allow a substrate to undergo multiple sequential treatments without the need for mechanical touching. A course of the transport path in curves is possible, provided that care is taken that forms the support and feed component according to the invention, and that the substrate does not abut by a too narrow transport ⁇ channel / curve radius on the side walls or even jammed.
  • the adjacent inflow and possibly existing outflow openings of two adjacent transport channels can be fed or emptied via a common supply or discharge line connected to them.
  • the advantage of a simple construction in conjunction with the smallest possible footprint can be maintained by suitably combining the openings or discharges supplying or discharging the openings.
  • the invention solves the known from the prior art problems in an effective and simple way. Accordingly, the invention reduces mechanical stress and thus breakage rate flat, fragile substrates during their transport and at the same time has the lowest possible surface consumption, as a vertically aligned substrate transported significantly less space needed than a horizontally oriented transported.
  • the invention is suitable both for the mere transport and for the wet-chemical treatment of the substrates in a continuous manner.
  • Figure 1 shows a schematic representation of the cross section of an embodiment of the transport channel according to the invention.
  • Figure 2 shows a longitudinal section of a schematically illustrated
  • Embodiment of the transport channel according to the invention Embodiment of the transport channel according to the invention.
  • Figure 3 shows a plan view of a device with several
  • FIG. 1 shows a schematic illustration of the cross section of an embodiment of the transport channel according to the invention.
  • the transport channel 2 has two walls 3 and 4 and in its lower region a bottom 9.
  • a liquid medium F is accommodated in it.
  • a substrate 1 is shown, which is vertically aligned.
  • liquid medium F small arrows
  • Openings 5 flows into the interior of the transport channel 2. These inlet openings 5 are formed in the embodiment shown by tubes which project through the walls 3, 4 and are fed from the outside (not shown). As indicated, the viewer looks diagonally forward in the tubes, as they are inclined towards the viewer. In this way they not only serve to center the substrate 1, but also provide the feed component according to the invention. In the lower region 9, more precisely in the bottom 9 of the transport channel 2 is also an inflow opening 5 is present. The liquid medium F flowing from it (upward, thick arrow) serves to provide the carrying component according to the invention.
  • discharge openings 6, are arranged in the bottom 9 through which the liquid medium F can leave the interior of the transport channel 2 again, without it overflowing (inclined, downwardly directed thick arrows).
  • FIG. 2 a longitudinal section of a schematically illustrated embodiment of the transport channel according to the invention is shown, wherein the transport direction extends from left to right.
  • the transport channel 2 is filled with liquid medium F.
  • a substrate 1 is introduced into the transport channel 2 in an entry region 7. In order to prevent abutment on the bottom, the depth in the inlet region 7 is increased.
  • a transport of the substrate takes place (without reference numeral) in the direction of the end of the transport channel (on the right in the picture).
  • an exit region 8 is present, which is designed here as a ramp, so that the substrate - - slowly comes out of the liquid medium.
  • grippers or guides are provided, which are not shown in the figure.
  • FIG. 3 shows a plan view of a device with a plurality of transport channels 2. These are arranged parallel to one another and are preferably fed and emptied by respective common lines (not shown).
  • the substrates 1 (only one with reference numeral) pass through these transport channels 2 continuously and in parallel. In this way, a large number of substrates can be transported in a gentle manner and, in the case of the presence of a modifying treatment liquid, also be treated.
  • the dividing line 10 indicates that the transport channels are divided into two successively arranged areas. In each of the areas, a different liquid medium (without reference numerals) may be present if, for example, a bubble carpet is used to separate the areas or their media.

Abstract

Die Erfindung betrifft das Gebiet des Transports flacher Substrate wie beispielsweise Siliziumsubstrate. Insbesondere betrifft die Erfindung den besonders schonenden und kontinuierlichen Transport solcher Substrate. Das erfindungsgemäße Verfahren dient dem Transport eines vertikal ausgerichteten flachen Substrats (1) mit zwei Flachseiten in eine Transportrichtung innerhalb eines zumindest teilweise mit einem flüssigen Medium (F) gefüllten Transportkanals (2), wobei das flüssige Medium (F) gegen mindestens eine der Flachseiten des Substrats (1) strömt und eine die Summe aus Gewichts- und Auftriebskraft des Substrats (1) aufhebende Tragekomponente sowie eine in Transportrichtung gerichtete Vorschubkomponente aufweist, so dass das Substrat (1) ohne mechanische Hilfsmittel getragen und transportiert wird. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst einen Transportkanal (2) zur Aufnahme eines flüssiges Mediums (F) sowie eines innerhalb dieses Mediums (F) in vertikaler Ausrichtung zu führenden Substrats (1), wobei der Transportkanal (2) in den Wänden (3, 4) Einströmöffnungen (5) aufweist.

Description

Verfahren und Vorrichtung zum Transport flacher Substrate
Einleitung
Die Erfindung betrifft das Gebiet des Transports flacher Substrate wie beispielsweise Siliziumsubstrate. Insbesondere betrifft die Erfindung den besonders schonenden und kontinuierlichen Transport solcher Substrate.
Stand der Technik und Nachteile
Die Basis elektrischer und elektronischer Bauelemente wie beispielsweise integrierte Schaltkreise oder Solarzellen bildet gewöhnlich ein flächiges Substrat. Dieses wird typischerweise aus Silizium gewonnen, welches häufig zunächst als Einkristall (Ingot) vorliegt, und aus dem anschließend über einen Sägeprozess flache Platten, so genannte Wafer, hergestellt werden.
Nach einer Reinigung und ggf. Oberflächenmodifikation (bei Solarzellen z.B. durch Anätzen, sog. Texturieren), erfolgen weitere Arbeitsschritte, welche den Wafern die eigentlichen elektrischen oder elektronischen Eigenschaften verleihen. In den ganz überwiegenden Fällen finden zumindest einige dieser Schritte in Form einer nasschemischen Behandlung statt, und zwar entweder im Nutzen (Batch) oder im kontinuierlichen Verfahren (Inline) .
Im ersten Fall wird eine Anzahl von Wafern platzsparend in eine Tragevorrichtung (Carrier) eingelegt (eingehordet ) , wobei die Oberflächen der Wafer beabstandet und parallel zueinander stehen. Im zweiten Fall erfolgt ein kontinuierlicher Transport der Wafer durch die Behandlungsflüssigkeit unter Verwendung von rotierenden Rollen, auf denen die Wafer aufliegen. Ggf. sind noch Niederhalter vorzusehen, um ein Aufschwimmen der Substrate zu verhindern, wie beispielsweise in der Druckschrift WO 03/086914 AI vorgeschlagen. - -
Diese Verfahren werden auch beim Transport zwischen verschiedenen Behandlungsstationen angewandt. Somit sind die beschriebenen Verfahren sowohl zum bloßen Transport als auch zur nasschemischen Behandlung geeignet. Nachteilig an diesen Verfahren ist die damit einhergehende mechanische Beanspruchung der meist sehr dünnen Substrate. Eine signifikante Bruchrate ist die Folge, was zu entsprechend höheren Herstellungskosten der Endprodukte führt. Insbesondere Falle von Inline-Anlagen kommt noch der im Vergleich zu Batchanlagen hohe Flächenverbrauch (Footprint) hinzu.
Eine mögliche Lösung des Problems der mechanischen Beanspruchung offenbart die Druckschrift WO 2009 153061 AI. Nach deren Lehre erfolgt der Transport (und ggf. die Behandlung) der Substrate auf einem Fluidkissen, wobei die Substrate hintereinander liegend entweder mittels der bloßen Strömung, oder unter Verwendung von mechanischen Vorschubhilfen transportiert werden. Nachteilig an diesem Verfahren ist jedoch weiterhin der hohe Flächenverbrauch.
Aufgabe der Erfindung und Lösung
Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Vermeidung der aus dem Stand der Technik bekannten Nachteile. Demnach soll die Erfindung eine mechanische Beanspruchung und somit Ausfallrate flacher, bruchgefährdeter Substrate während ihres Transports verringern und zugleich einen möglichst geringen Flächenverbrauch aufweisen. Ferner soll sie sowohl zum bloßen Transport als auch zum nasschemischen Behandeln der Substrate in kontinuierlicher Weise geeignet sein.
Die Aufgabe wird durch ein Verfahren nach Anspruch 1 und eine Vorrichtung nach Anspruch 10 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausführungsformen sind den Unteransprüchen, der Beschreibung und den Figuren zu entnehmen. - -
Beschreibung
Die Erfindung basiert auf der Erkenntnis, dass ein platzsparender Transport von flachen Substraten durch eine vertikale Ausrichtung derselben möglich ist. Demnach betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Transport eines vertikal ausgerichteten flachen Substrats mit zwei Flachseiten in eine Transportrichtung. Der Transport erfolgt innerhalb eines zumindest teilweise mit einem flüssigen Medium gefüllten, zwei Wände sowie ggf. einen Boden aufweisenden Transportkanals entlang einer Transportstrecke, wobei das flüssige Medium gegen mindestens eine der Flachseiten des Substrats strömt und eine die Summe aus Gewichts- und Auftriebskraft des Substrats zumindest teilweise aufhebende Tragekomponente sowie eine in Transportrich¬ tung gerichtete Vorschubkomponente aufweist, so dass das Substrat ohne mechanische Hilfsmittel getragen und transportiert wird.
Der Transport erfolgt im wesentlichen horizontal, wobei ein leicht ab- und/oder aufwärts gerichtetes Bewegen des Substrats vom horizontalen Transport umfasst ist. Es ist hingegen auch klar, dass das Ein- und Ausfahren des Substrats in das flüssige bzw. aus dem flüssigen Medium teilweise oder vollständig vertikal erfolgen kann.
Bevorzugt strömt das flüssige Medium gegen beide Flachseiten des Substrats, da so eine einfache Zentrierung des Substrats im Transportkanal erreicht wird. Nach einer alternativen bevorzugten Ausführungsform strömt das flüssige Medium lediglich gegen eine der beiden Flachseiten des Substrats, während gegen die nicht mit dem flüssigen Medium zu kontaktierende Flachseite des Substrats ein weiteres (anderes) fluides Medium wie z.B. ein Gas oder Gasgemisch strömt, so dass der Transportkanal lediglich einseitig des Substrats und somit nur teilweise mit dem flüssigen Medium gefüllt ist. - -
Die Gewichtskraft ergibt sich aus der Masse des Substrats. Die ihr entgegen gerichtete (Gesamt-) Auftriebskraft ergibt sich aus dem statischen Auftrieb, der von der Verdrängung des umgebenden Mediums hervorgerufen wird, und dem durch Umströmung hervorgerufenen dynamischen Auftrieb. Sie umfasst definitions¬ gemäß auch eine beispielsweise durch anhaftende Gasblasen hervorgerufene Änderung der Auftriebsverhältnisse .
Typischerweise ist die Tragekomponente entgegen der Schwerkraft gerichtet, da die Mehrzahl denkbarer Substratmaterialien dazu tendiert, in einer Flüssigkeit zu versinken. Ausnahmen entstehen jedoch dadurch, dass sich an der Oberfläche des Substrats Gasbläschen bilden und/oder dort anhaften, welche in der Summe zu einem Auftrieb des Substrats führen können. In diesen Fällen ist es angebracht, die Tragekomponente in Richtung der Schwerkraft auszurichten. Zudem ist es nicht zwingend nötig, entlang der Transportstrecke eine konstant ausgerichtete Tragekomponente vorzusehen. Für den Fall eines Anstiegs der Blasenbildung entlang der Transportstrecke, eines fortschreitenden Materialverlusts durch Oberflächenabtrag, oder allgemein einer Änderung der Summe aus Auftriebs- und Gewichtskraft kann es nötig sein, die Ausrichtung in Transportrichtung zu variieren, um den erfindungsgemäß gewünschten Effekt des (horizontalen) Tragens zu gewährleisten. Umgekehrt kann es erwünscht sein, das Substrat (kontrolliert) absinken oder aufsteigen zu lassen, was wiederum durch sinngemäße Anpassung der Ausrichtung möglich ist. Aufgrund dieser Darlegungen kann es je nach konkretem Anwendungsfall sein, dass die Tragekomponente die Summe aus Gewichts- und Auftriebskraft des Substrats lediglich teilweise aufhebt.
Die in (oder, für einen rückwärts gerichteten Transport, entgegen) der Transportrichtung gerichtete Vorschubkomponente muss zumindest temporär vorhanden sein, um dem Substrat eine Vorschubkraft aufzuprägen. Während der Zeiten, in welchen keine Vorschubkomponente vorhanden ist, steht das Substrat im - -
Wesentlichen still und verweilt an einem Punkt im Transportkanal. Auf diese Weise sind längere Verweilzeiten realisierbar.
Ein nach der Lehre der Erfindung erfolgender Transport löst effektiv die aus dem Stand der Technik bekannten Probleme. Demnach verringert die Erfindung eine mechanische Beanspruchung und somit Bruchrate flacher, bruchgefährdeter Substrate während ihres Transports und weist zugleich einen möglichst geringen Flächenverbrauch auf, da ein in vertikaler Ausrichtung im wesentlichen horizontal transportiertes Substrat deutlich weniger Platz benötigt als ein in horizontaler Ausrichtung transportiertes. Ferner ist die Erfindung sowohl zum bloßen Transport als auch zum nasschemischen Behandeln der Substrate in kontinuierlicher Weise geeignet.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform ist das flüssige Medium eine Behandlungsflüssigkeit zur nasschemischen Behandlung des Substrats. Definitionsgemäß zählt hierzu auch beispielsweise DI- Wasser, wobei die entsprechende Behandlung dann eine Reinigung ist. Nach dieser Ausführungsform erfolgt also zeitgleich zum Transport und, in Abhängigkeit der Art der Behandlungsflüssig- keit, eine Modifikation des Substrats, beispielsweise ein Reinigen, Ätzen, Oberflächenmodifizieren (Dotieren) oder Beschichten (Abscheiden) .
Bevorzugt wird bzw. werden die Tragekomponente und/oder die Vorschubkomponente durch seitlich und/oder unterhalb des Substrats in den Wänden bzw. im Boden oder einem unteren Bereich des Transportkanals angeordnete Einströmöffnungen und/oder durch Abflussöffnungen im Boden oder unteren Bereich des Transportkanals bereitgestellt. Mit anderen Worten, die Einströmöffnungen sind derart ausgerichtet, dass das aus ihnen strömende flüssige Medium den erfindungsgemäß vorgesehenen Effekt zeitigt. Vorzugsweise sind hierzu auch entsprechend positionierte Ausströmöffnungen eingebunden; so kann eine nach unten gerichtete Tragekomponente dadurch bereitgestellt sein, dass unterhalb des - -
Substrats (im Boden oder unteren Bereich des Transportkanals) Ausströmöffnungen angeordnet sind, deren Sog das Substrat nach unten zu ziehen sucht.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform weist in einem "Substrat- Eintrittsbereich" genannten Bereich des Transportkanals die Resultierende aus Trage- und Vorschubkomponente eine in Richtung der Schwerkraft gerichtete Komponente auf. Das bedeutet, dass in diesem Bereich das Substrat eine abwärts gerichtete Gesamtkraft erfährt, was zu einem Absinken des Substrats in den Transportkanal führt. Auf diese Weise ist das kontrollierte Einfahren des Substrats in die Transportstrecke ermöglicht.
Analog dazu ist bevorzugt, dass in einem "Substrat- Austrittsbereich" genannten Bereich des Transportkanals die Resultierende aus Trage- und Vorschubkomponente eine entgegen der Schwerkraft gerichtete Komponente aufweist, was zu einem Anheben des Substrats am Ende der Transportstrecke führt und eine Entnahme desselben aus dem flüssigen Medium erleichtert.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform weist die Stirnseite des Transportkanals in seinem Substrat-Eintrittsbereich ebenfalls mindestens eine Einströmöffnung auf, durch welche Flüssigkeit oder ein anderes Fluid in den Kanal eingebracht werden kann. Da das auf diese Weise eingebrachte Fluid in Transportrichtung strömt, kann die erfindungsgemäß gewünschte Vorschubkomponente unterstützt oder sogar alleinig bereitgestellt werden. Als weitere oder ergänzende Mittel zum Einbringen oder Entnehmen des Substrats in den bzw. aus dem Transportkanal kommen z.B. mechanische Greifer, Vakuumgreifer oder mechanische Führungen in Betracht .
Ebenfalls bevorzugt liegt an allen Einströmöffnungen, mit Ausnahme der in einem ggf. vorhandenen Eintrittsbereich und/oder Austrittsbereich angeordneten Einströmöffnungen, der gleiche Volumenstrom an. Eine gewünschtenfalls entlang der Transport- - - strecke variierende Tragekomponente ist bevorzugt dadurch zu erreichen, dass die Strömungsquerschnitte und/oder die Anzahl oder Verteilung der Einströmöffnungen entsprechend angepasst wird. Eine solche Flüssigkeitsversorgung hat den Vorteil einer entsprechend einfachen Konstruktion.
Alternativ oder zusätzlich kann auch eine entlang der Transportstrecke gleich bleibende Strömungsgeschwindigkeit und/oder ein gleich bleibender Massendurchsatz vorgesehen sein.
Nach einer anderen Ausführungsform strömt das flüssige Medium, welches dann ein "erstes" flüssiges Medium ist, gegen eine Flachseite des Substrats, und ein weiteres fluides Medium ist vorgesehen, welches gegen die andere Flachseite strömt. Das weitere Medium kann, muss aber nicht, flüssig sein. Auf diese Weise ist eine einseitige Behandlung aufgrund unterschiedlicher Medien auf beiden Seiten des Substrats ermöglicht, beispielsweise ein Ätzen auf der einen, und ein Reinigen (bzw. Nicht- Modifizieren) auf der anderen Seite.
Nach einer Ausführungsform ist das weitere fluide Medium ein Gas oder Gasgemisch, so dass eine beidseitig unterschiedliche Behandlung erfolgt. Somit kann auch in diesem Fall die Behandlung vorwiegend einseitig erfolgen. Es ist dabei offen, ob die Behandlung durch die Flüssigkeit (nasschemisch) oder durch das Gas erfolgt. Es ist klar, das der Transportkanal in diesem Fall lediglich einseitig des Substrats, d.h. lediglich teilweise mit einem flüssigen Medium gefüllt ist.
Beispiele für das (mindestens eine) flüssige Medium sind eine Texturierungslösung, eine Reinigungslösung oder eine Ätzlösung. Wie bereits erwähnt, kann es sich aber auch um eine neutrale Flüssigkeit wie beispielsweise Di-Wasser handeln, welches vorwiegend dem Transport des Substrats dient, ohne dieses zu modifizieren, sondern ggf. zu reinigen oder sauber zu halten. - -
Nach einer weiteren Ausführungsform wird in das (mindestens eine) flüssige Medium zusätzlich Gas wie beispielsweise Ozon eingeblasen. Durch Anreicherung mit einem Gas kann die nasschemische Reaktion beeinflusst oder überhaupt erst in Gang gesetzt werden. Das Gas wie insbesondere das Ozon kann auch zur Reinigung der Substratoberfläche eingesetzt werden.
Auch eine Erwärmung oder Abkühlung der Medien kann vorteilhaft sein. Ebenso ist eine Wiederverwendung oder zumindest Wiederverwertung des oder der Medien bevorzugt. Besonders bevorzugt erfolgt eine Zudosierung von frischen Medien zu den bereits im Kreislauf befindlichen Medien, um eine gleichbleibende Qualität der Behandlungsflüssigkeit zu gewährleisten.
Die Erfindung offenbart auch eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
Eine solche Vorrichtung zum vertikalen Transport eines flachen Substrats in eine Transportrichtung weist einen durch zwei Wände seitlich begrenzten Transportkanal zur Aufnahme eines flüssiges Mediums sowie zur Aufnahme eines innerhalb dieses Mediums in vertikaler Ausrichtung zu führenden Substrats mit zwei Flachseiten auf, wobei der Transportkanal in seinem durch die Wände gebildeten Wandbereich Einströmöffnungen aufweist, aus denen flüssiges Medium gegen mindestens eine der beiden Flachseiten des Substrats derart gerichtet ausgebbar ist, dass sich eine die Summe aus Gewichts- und Auftriebskraft des Substrats zumindest teilweise aufhebende und das Substrat tragende Tragekomponente sowie eine in Transportrichtung gerichtete und das Substrat transportierende Vorschubkomponente ergibt, so dass das Substrat ohne mechanische Hilfsmittel getragen und transportiert werden kann.
Es ist klar, dass die Einströmöffnungen nicht zwingend durch Öffnungen in der Wand des Transportkanals bereitgestellt sein müssen. Auch Düsen, welche auf der Innenseite der Wand des - -
Transportkanals an dieser angebracht sind und beispielsweise durch Leitungen, welche ebenfalls entlang der Innenseite der Wand verlaufen, stellen Einströmöffnungen der erfindungsgemäßen Art bereit . Die Einströmöffnungen können auch durch ein poröses Material wie beispielsweise eine Sinterkeramik oder Sintermetall bereitgestellt sein. Dies ist insbesondere von Vorteil, wenn eine einseitige Behandlung erfolgen soll, bei der eine Seite des Substrats mit einem Teppich aus Gasblasen vom flüssigen Medium geschützt werden soll. Es ist klar, dass diese Einströmöffnungen dann auch zur Ausgabe eines gasförmigen Mediums geeignet sind, und dass diese Einströmöffnungen besonders bevorzugt lediglich auf der Seite des Transportkanals angeordnet sind, welche der vor Flüssigkeit zu schützenden Seite des Substrats zugewandt ist. In Fällen, in denen keine asymmetrische (z.B. einseitige) Behandlung des Substrats erwünscht ist, ist es bevorzugt, dass die Anordnung der Einströmöffnungen beiderseits des Substrats symmetrisch oder zumindest funktionell symmetrisch ist. Letzteres bedeutet, dass die Anordnung zwar auf kurzer Distanz nicht symmetrisch, sondern beispielsweise abwechselnd oder versetzt ist, dass sich jedoch auf längere Distanz die erfindungsgemäß gewünschten Kraftkomponenten ausbilden können und auf das Substrat wirken.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform weist die Stirnseite des Transportkanals in seinem Substrat-Eintrittsbereich ebenfalls mindestens eine Einströmöffnung auf, durch welche Flüssigkeit oder ein anderes Fluid in den Kanal eingebracht werden kann. Da das auf diese Weise eingebrachte Fluid in Transportrichtung strömt, kann die erfindungsgemäß gewünschte Vorschubkomponente unterstützt oder sogar alleinig bereitgestellt werden.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform sind im unteren Bereich oder im ggf. vorhandenen Boden des Transportkanals Abfluss- - -
Öffnungen für das flüssige Medium angeordnet. Wie weiter oben bereits angedeutet, können diese Abflussöffnungen der Erzeugung eines Sogs dienen, welcher eine nach unten weisende Tragekomponente bereitstellt. Zudem ist so vermeidbar, dass ein Übermaß an flüssigem Medium die Oberkante (n) des Transportkanals überspült. Lediglich ein (ausschließliches) Überlaufen an der am Ende der Transportstrecke befindlichen Oberkante ("Endkante") kann wünschenswert sein, um auf diese Weise ohne weiteren konstruktiven Aufwand für die Bereitstellung der erfindungsgemä- ßen Vorschubkomponente zu sorgen.
Ferner ist bevorzugt, dass die erfindungsgemäße Vorrichtung einen am Beginn des Transportkanals angeordneten Substrat- Eintrittsbereich umfasst, dessen Einström- und ggf. vorhandene Abflussöffnungen derart angeordnet und ausgerichtet sind, dass die Resultierende aus Trage- und Vorschubkomponente eine in Richtung der Schwerkraft gerichtete Komponente aufweist. Ebenso ist bevorzugt, dass die Vorrichtung einen am Ende des Transportkanals angeordneten Substrat-Austrittsbereich umfasst, dessen Einström- und ggf. vorhandene Abflussöffnungen derart angeordnet und ausgerichtet sind, dass die Resultierende aus Trage- und Vorschubkomponente eine entgegen der Schwerkraft gerichtete Komponente aufweist. Diese beiden Bereiche dienen demnach dem einfachen Einbringen bzw. Entnehmen des Substrats in den bzw. aus dem Transportkanal. Zur weiteren Erläuterung und zur Vermeidung von Wiederholungen wird auf die obige Beschreibung betreffend das erfindungsgemäße Verfahren verwiesen.
Sofern die Anlieferung des Substrats auf einer seiner Flachseiten liegend, beispielsweise unter Verwendung der aus dem Stand der Technik bekannten Rollenförderer geschieht, ist es nötig, die Ausrichtung des Substrats in die Vertikale (und ggf. am Ende des Transports wieder zurück in die Horizontale) zu überführen. Hierzu sind aus dem Stand der Technik bekannte Umhordungsvorrich- - - tungen verwendbar. Alternativ kann auch die erfindungsgemäße Vorrichtung, beispielsweise durch sukzessives Ändern der Anströmung, eine seitliche Rotation, ein Absinken oder ein Aufschwimmen des Substrats erzwingen, so dass das Substrat aus der vertikalen Ausrichtung in eine horizontale Ausrichtung bzw. wieder zurück überführbar ist.
Um eine möglichst einfache Konstruktion zu erhalten ist bevorzugt, dass der Transportkanal einen rechteckigen oder V- förmigen Querschnitt aufweist. Bei einem rechteckigen Querschnitt ist bevorzugt, dass die Tiefe das entsprechende Maß des Substrats zumindest geringfügig übersteigt, beispielsweise um 10% bis 30%. In Bereichen, in denen mit einer stärkeren vertikalen Bewegung des Substrats zu rechnen ist, beispielsweise im Eintrittsbereich, sollte die Tiefe entsprechend größer sein, beispielsweise um 30% bis 100%. Die Breite des Querschnitts sollte vorzugsweise so gering wie möglich ausfallen, um die Stellfläche der erfindungsgemäßen Vorrichtung zu minimieren. Dabei ist jedoch jederzeit auf die Ausbildbarkeit der erfindungsgemäßen Strömungsverhältnisse (Trage- und Vorschub- komponente) zu achten. Selbstverständlich kann die Breite auch variabel ausgestaltet sein, wobei einer gleichbleibenden Breite konstruktiv bevorzugt ist.
Für den Fall eines V-förmigen Querschnitts gelten sinngemäß die gleichen Bedingungen. Da ein solcher Querschnitt keinen "Boden" im eigentlichen Sinne aufweist, ist damit definitionsgemäß der untere Bereich des Transportkanals gemeint, also der Bereich, der sich insbesondere unterhalb der Unterkante oder zumindest unter¬ halb des Massenschwerpunkts des im Transportkanal angeordneten Substrats befindet. Es ist außerdem bevorzugt, dass die Wände und/oder ein ggf. vorhandener Boden des Transportkanals eine für das Substrat¬ material gleitreibungsarme Oberfläche wie insbesondere PTFE - - aufweisen bzw. aufweist. Auf diese Weise kann selbst in dem (unerwünschten) Fall, dass das Substrat den Boden oder die Wände berührt, sichergestellt sein, dass eine Beeinträchtigung durch Kratzer oder durch deutliche Verlangsamung der Transportgeschwin- digkeit aufgrund Hängenbleibens reduziert ist.
Es ist dementsprechend klar, dass der Transportkanal vorzugsweise glatt und ohne Vorsprünge ausgebildet sein sollte. Aus diesem Grunde sind als Einströmöffnungen auch Öffnungen in den Wänden anstelle von aufgesetzten Düsen bevorzugt. Für den typischen Fall, dass eine große Anzahl von Substraten gleichzeitig transportiert und ggf. behandelt werden sollen, sieht die Erfindung vor, dass die Vorrichtung eine Mehrzahl von parallel verlaufenden Transportkanälen umfasst. Diese sind möglichst nah nebeneinander angeordnet, um die Stellfläche möglichst gering zu halten.
Wahlweise können die Transportkanäle alle gleich oder auch unterschiedlich sein. Sie können ferner der Durchführung von gleichen oder unterschiedlichen Behandlungsschritten dienen. Ebenso ist eine beispielsweise mäanderförmige Aneinanderreihung mehrerer, dann modular ausgestalteter Transportstrecken möglich. Durch mechanische, flüssige oder gasbasierte "Schleusen" kann ein Substrat so mehrere sequenzielle Behandlungen durchlaufen, ohne mechanisch berührt werden zu müssen. Ein Verlauf der Transportstrecke in Kurven ist möglich, sofern Sorge getragen wird, dass sich die Trage- und Vorschubkomponente erfindungsgemäß ausbildet, und dass das Substrat nicht durch einen zu engen Transport¬ kanal/Kurvenradius an dessen Seitenwänden anstößt oder sich gar verklemmt .
Vorzugsweise sind die einander benachbarten Einström- und ggf. vorhandenen Abflussöffnungen zweier benachbarter Transportkanäle über eine mit ihnen verbundene gemeinsame Versorgungs- oder Abflussleitung speisbar bzw. entleerbar. Mit anderen Worten, - - durch geeignete Zusammenfassung der die Öffnungen speisenden bzw. entleerenden Zu- bzw. Ableitungen kann der Vorteil einer einfachen Konstruktion in Verbindung mit einer geringstmöglichen Stellfläche erhalten bleiben. Die Erfindung löst die aus dem Stand der Technik bekannten Probleme auf effektive und einfache Art. Demnach verringert die Erfindung eine mechanische Beanspruchung und somit Bruchrate flacher, bruchgefährdeter Substrate während ihres Transports und weist zugleich einen möglichst geringen Flächenverbrauch auf, da ein in vertikaler Ausrichtung transportiertes Substrat deutlich weniger Platz benötigt als ein in horizontaler Ausrichtung transportiertes. Außerdem ist die Erfindung sowohl zum bloßen Transport als auch zum nasschemischen Behandeln der Substrate in kontinuierlicher Weise geeignet.
Figurenbeschreibung
Figur 1 zeigt eine schematische Darstellung des Querschnitts einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Transportkanals .
Figur 2 zeigt einen Längsschnitt einer schematisch dargestellten
Ausführungsform des erfindungsgemäßen Transportkanals.
Figur 3 zeigt eine Draufsicht auf eine Vorrichtung mit mehreren
Transportkanälen .
In der Figur 1 ist eine schematische Darstellung des Querschnitts einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Transportkanals gezeigt. Der Transportkanal 2 weist zwei Wände 3 und 4 sowie in seinem unteren Bereich einen Boden 9 auf. Ein flüssiges Medium F ist in ihm aufnehmbar. In diesem flüssigen Medium F wiederum ist ein Substrat 1 gezeigt, welches vertikal ausgerichtet ist.
Die beiden Flachseiten des Substrats (1) werden von flüssigem Medium F angeströmt (kleine Pfeile) , welches durch Einström- - -
Öffnungen 5 (nicht durchgängig mit Bezugszeichen versehen) in das Innere des Transportkanals 2 einströmt. Diese Einströmöffnungen 5 sind in der gezeigten Ausführungsform durch Rohre gebildet, welche durch die Wände 3, 4 ragen und von außen (nicht dargestellt) gespeist werden. Wie angedeutet, sieht der Betrachter von schräg vorne in die Rohre, da diese in Richtung des Betrachters geneigt sind. Auf diese Weise dienen sie nicht nur der Zentrierung des Substrats 1, sondern stellen auch die erfindungsgemäße Vorschubkomponente bereit. Im unteren Bereich 9, genauer im Boden 9 des Transportkanals 2 ist ebenfalls eine Einströmöffnung 5 vorhanden. Das aus ihr strömende flüssige Medium F (aufwärts gerichteter, dicker Pfeil) dient der Bereitstellung der erfindungsgemäßen Tragekomponente.
Ebenfalls im Boden 9 angeordnet sind Abflussöffnungen 6, durch welche das flüssige Medium F das Innere des Transportkanals 2 wieder verlassen kann, ohne dass dieser überläuft (geneigte, abwärts gerichtete dicke Pfeile) .
Wie aus der Fig. 1 ersichtlich ist ein Transport des Substrats 1 möglich, ohne das dieses mechanisch in Kontakt mit dem Transportkanal 2 oder anderen, dem Tragen oder dem Vorschub dienenden Bauelementen kommt.
In der Fig. 2 ist ein Längsschnitt einer schematisch dargestellten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Transportkanals gezeigt, wobei die Transportrichtung von links nach rechts verläuft. Der Transportkanal 2 ist mit flüssigem Medium F angefüllt. Ein Substrat 1 wird in einem Eintrittsbereich 7 in den Transportkanal 2 eingebracht. Um ein Anstoßen an dessen Boden zu verhindern, ist die Tiefe im Eintrittsbereich 7 erhöht.
Im weiteren Verlauf erfolgt ein Transport des Substrats (ohne Bezugszeichen) in Richtung des Endes des Transportkanals (rechts im Bild) . Dort ist ein Austrittsbereich 8 vorhanden, der vorliegend als Rampe ausgestaltet ist, so dass das Substrat - - langsam aus dem flüssigen Medium heraustritt. Es ist klar, dass hierzu vorzugsweise entsprechende Greifer oder Führungen vorzusehen sind, die in der Figur nicht gezeigt sind. Ebenfalls nicht gezeigt sind die Einström- und Auslassöffnungen, mit denen die erfindungsgemäße Trage- und Vorschubkomponente bereitgestellt wird .
Die Fig. 3 schließlich zeigt eine Draufsicht auf eine Vorrichtung mit mehreren Transportkanälen 2. Diese sind parallel zueinander angeordnet und werden vorzugsweise durch jeweils gemeinsame Leitungen gespeist und entleert (nicht gezeigt) . Die Substrate 1 (nur eines mit Bezugszeichen) durchlaufen diese Transportkanäle 2 kontinuierlich und parallel. Auf diese Weise kann auf schonende Weise eine große Anzahl von Substraten transportiert und, für den Fall des Vorhandenseins einer modifizierenden Behandlungsflüssig- keit, auch behandelt werden. Die Trennlinie 10 deutet an, dass die Transportkanäle in zwei hintereinander angeordnete Bereiche aufgeteilt sind. In jedem der Bereiche kann ein anderes flüssiges Medium (ohne Bezugszeichen) vorhanden sein, wenn zur Trennung der Bereiche bzw. deren Medien beispielsweise ein Blasenteppich verwendet wird.
Bezugs zeichenliste
1 Substrat
2 Transportkanal
3 Wand, Wandbereich
4 Wand, Wandbereich
5 Einströmöffnungen
6 Abflussöffnungen
7 ( Substrat- ) Eintrittsbereich
8 ( Substrat- ) Austrittsbereich 9 unterer Bereich, Boden
10 Trennlinie
F flüssiges Medium

Claims

Patentansprüche
Verfahren zum Transport eines vertikal ausgerichteten flachen Substrats (1) mit zwei Flachseiten in eine Transportrichtung innerhalb eines zumindest teilweise mit einem flüssigen Medium (F) gefüllten, zwei Wände (3, 4) aufweisenden Transportkanals (2), wobei das flüssige Medium (F) gegen mindestens eine der Flachseiten des Substrats (1) strömt und eine die Summe aus Gewichts- und Auftriebskraft des Substrats (1) zumindest teilweise aufhebende Tragekomponente sowie eine in Transportrichtung gerichtete Vorschubkomponente aufweist, so dass das Substrat (1) ohne mechanische Hilfsmittel getragen und transportiert wird.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das flüssige Medium (F) eine Behandlungsflüssigkeit zur nasschemischen Behandlung des Substrats (1) ist.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Tragekomponente und/oder die Vorschubkomponente durch seitlich und/oder unterhalb des Substrats (1) in den Wänden (3, 4) bzw. in einem Boden (9) oder in einem unteren Bereich (9) und/oder in einer Stirnseite des Transportkanals (2) angeordnete Einströmöffnungen (5) und/oder durch Abflussöffnungen (6) im Boden (9) oder unterem Bereich (9) des Transportkanals (2) bereitgestellt wird bzw. werden.
Verfahren nach Anspruch 3, wobei in einem Substrat- Eintrittsbereich (7) des Transportkanals (2) die Resultierende aus Trage- und Vorschubkomponente eine in Richtung der Schwerkraft gerichtete Komponente aufweist, und/oder wobei in einem Substrat-Austrittsbereich (8) des Transportkanals (2) die Resultierende aus Trage- und Vorschubkomponente eine entgegen der Schwerkraft gerichtete Komponente aufweist.
Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, wobei an allen Einströmöffnungen (5), mit Ausnahme der in einem ggf. vorhandenen Eintrittsbereich (7) und/oder Austrittsbereich (8) angeordneten Einströmöffnungen (5), der gleiche Volumenstrom anliegt.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das flüssige Medium (F) gegen die eine Flachseite des Substrats (1) strömt und ein weiteres fluides Medium vorgesehen ist, welches gegen die andere Flachseite strömt.
Verfahren nach Anspruch 6, wobei das weitere fluide Medium ein Gas ist, so dass eine beidseitig unterschiedliche Behandlung erfolgt.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das flüssige Medium (F) eine Texturierungslösung, eine Reinigungslösung, eine Ätzlösung oder Di-Wasser ist.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei in das flüssige Medium (F) zusätzlich Gas eingeblasen wird.
Vorrichtung zum vertikalen Transport eines flachen Substrats (1) in eine Transportrichtung mit einem zwei Wände (3, 4) aufweisenden Transportkanal (2) zur Aufnahme eines flüssiges Mediums (F) sowie eines innerhalb dieses Mediums (F) in vertikaler Ausrichtung zu führenden Substrats (1) mit zwei Flachseiten, wobei der Transportkanal (2) in den Wänden (3, 4) Einströmöffnungen (5) aufweist, aus denen flüssiges Medium (F) gegen mindestens eine der beiden Flachseiten des Substrats (1) derart gerichtet ausgebbar ist, dass sich eine die Summe aus Gewichts- und Auftriebskraft des Substrats (1) zumindest teilweise aufhebende und das Substrat (1) tragende Tragekomponente sowie eine in Transportrichtung gerichtete und das Substrat (1) transportierende Vorschubkomponente ergibt, so dass das Substrat (1) ohne mechanische Hilfsmittel getragen und transportiert werden kann.
Vorrichtung nach Anspruch 10, wobei im unteren Bereich (9) des Transportkanals (2) Abflussöffnungen (6) für das flüssige Medium (F) angeordnet sind.
12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, ferner umfassend einen am Beginn des Transportkanals (2) angeordneten Substrat- Eintrittsbereich (7), dessen Einström- und ggf. vorhandene Abflussöffnungen (5, 6) derart angeordnet und ausgerichtet sind, dass die Resultierende aus Trage- und Vorschubkomponen¬ te eine in Richtung der Schwerkraft gerichtete Komponente aufweist, und/oder einen am Ende des Transportkanals (2) angeordneten Substrat-Austrittsbereich (8), dessen Einström- und ggf. vorhandene Abflussöffnungen derart angeordnet und ausgerichtet sind, dass die Resultierende aus Trage- und
Vorschubkomponente eine entgegen der Schwerkraft gerichtete Komponente aufweist.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, wobei der Transportkanal (2) einen rechteckigen oder V-förmigen Querschnitt aufweist.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, wobei die Wände (3, 4) und/oder ein ggf. vorhandener Boden (9) des Transportkanals (2) eine gleitreibungsarme Oberfläche aufweisen bzw. aufweist.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, umfassend eine Mehrzahl von parallel verlaufenden Transportkanälen (2).
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, wobei die Einström- und ggf. vorhandenen Abflussöffnungen zweier benachbarter Transportkanäle (2) über eine mit ihnen verbundene gemeinsame Versorgungs- oder Abflussleitung speisbar bzw. entleerbar sind .
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