DE102014110149A1 - Shaped body, process for its preparation and its use - Google Patents

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Norbert Schneider
Matthias Worgull
Hendrik Hölscher
Alexander Kolew
Marc Schneider
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    • B29C61/06Making preforms having internal stresses, e.g. plastic memory
    • B29C61/0608Making preforms having internal stresses, e.g. plastic memory characterised by the configuration or structure of the preforms
    • B29C61/0616Making preforms having internal stresses, e.g. plastic memory characterised by the configuration or structure of the preforms layered or partially layered preforms, e.g. preforms with layers of adhesive or sealing compositions

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers, bei welchem ein strukturierter Verbund (61) auf eine wärmeleitfähige Platte (70) aufgebracht wird. Danach wird die Platte (70) auf die Glasübergangstemperatur des Polymers und unterhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers aufgeheizt, wobei ein Formkörper (62) umfassend den verformten strukturierten Polymerfilm (22) und die strukturierte Folie (11) entsteht. Die Erfindung betrifft weiterhin einen Formkörper (62), umfassend eine strukturierte Folie (11) mit einer ersten Struktur, auf der ein verformter strukturierter Polymerfilm (22) mit einer Unter- und einer Oberseite aufgebracht ist, der mit seiner Unterseite fest mit einer Oberfläche der strukturierten Folie (11) verbunden ist und auf seiner Oberseite eine von der ersten Struktur unabhängige zweite Struktur aufweist, wobei die zweite Struktur eine Tiefe unter 500 nm aufweist. Ferner betrifft die Erfindung die Verwendung des Formkörpers (62) zur Herstellung von Antireflexbeschichtungen, farbpigmentfreie farbige Flächen oder Mikrokanäle mit strukturierten Wänden.The present invention relates to a method for producing a shaped body, in which a structured composite (61) is applied to a thermally conductive plate (70). Thereafter, the plate (70) is heated to the glass transition temperature of the polymer and below the permanent deformation temperature of the shape memory polymer to form a molded article (62) comprising the deformed patterned polymer film (22) and the patterned film (11). The invention further relates to a shaped body (62), comprising a structured film (11) having a first structure, on which a deformed structured polymer film (22) having a bottom and a top is fixed, which with its underside fixedly to a surface of the structured foil (11) is connected and on its upper side has a second structure independent of the first structure, wherein the second structure has a depth below 500 nm. Furthermore, the invention relates to the use of the shaped body (62) for the production of antireflection coatings, color pigment-free colored areas or microchannels with structured walls.

Description

Stand der Technik State of the art

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines mikro- bzw. nanostrukturierten Formkörpers, welcher ein Formgedächtnismaterial umfasst, einen mikro- bzw. nanostrukturierten Formkörper umfassend ein Formgedächtnismaterial sowie seine Verwendung. The present invention relates to a method for producing a microstructured or nanostructured shaped body which comprises a shape memory material, to a microstructured or nanostructured shaped body comprising a shape memory material and to its use.

Mikro- und nanostrukturierte Oberflächen erlauben die Veränderung von Oberflächeneigenschaften bereits eingesetzter Materialien und finden vielfältige Anwendung in der verschiedensten technischen Bereichen wie in der Medizin, Fluidik, Sensorik, Optik und in bionischen Anwendungen. Durch Verwendung derartiger Mikro- bzw. Nanostrukturen lassen sich beispielsweise Benetzungsverhalten (etwa im Schiffsbau oder bei fluidischen Anwendungen), Absorption bestimmter Stoffe (etwa von Proteinen oder Ölen), optische Eigenschaften (Reflexion, Transmission, Beugung), Zellwachstum und Selbstreinigungseffekte auf Oberflächen beeinflussen. Hierdurch werden beispielsweise langlebige farbige Oberflächen ohne Einsatz von Farbstoffen erzeugt oder die Energieeffizienz von Solarzellen durch verminderte Reflektion des einfallenden Lichts erreicht. Micro- and nanostructured surfaces allow the modification of surface properties of already used materials and find a variety of applications in the most diverse technical areas such as in medicine, fluidics, sensors, optics and in bionic applications. By using such micro- or nanostructures, it is possible, for example, to influence wetting behavior (for example in shipbuilding or fluidic applications), absorption of certain substances (for example of proteins or oils), optical properties (reflection, transmission, diffraction), cell growth and self-cleaning effects on surfaces. As a result, for example, durable colored surfaces are produced without the use of dyes or the energy efficiency of solar cells achieved by reduced reflection of the incident light.

Die Natur liefert hier – dank einer Forschungs- und Entwicklungszeit von einigen Milliarden Jahren – einzigartige und offensichtliche funktionsfähige Lösungsansätze, welche für technische Anwendungen adaptiert werden können. Ein sehr eindrucksvolles Beispiel für photonische Strukturen liefert die Schmetterlingsart Morpho, allen voran der Morpho rhetenor. Watanabe et al., Brilliant Blue Observation from a Morpho-Butterfly-Scale-Quasi-Structure, Jpn. J. Appl. Phys., 44, L48 (2004) , zeigt wie die Oberfläche der Flügel des Morpho retenor von kleinen Schuppen bedeckt ist, die wiederum an ihrer Oberfläche eine dreidimensionale tannenbaumartige Struktur aufweisen. Die Lamellen bilden ein Mehrschichtsystem, welche durch Interferenz wellenlängenspezifisch das blaue Licht reflektiert und aufgrund der vertikalen Versatzes der einzelnen Tannenbaumstrukturen untereinander auch einen deutlich größeren Raumwinkel abdecken, als die einfache Mehrschichtsysteme könnten. Zusätzlich zu den optischen Eigenschaften weisen die Flügel auch einen Selbstreinigungseffekt auf, welcher ebenfalls auf die einzigartigen Nanostrukturen zurückzuführen ist. Thanks to a research and development period of several billion years, nature provides unique and obvious functional solutions that can be adapted for technical applications. A very impressive example of photonic structures is provided by the butterfly species Morpho, in particular the Morpho rhetenor. Watanabe et al., Brilliant Blue Observation from a Morpho Butterfly Scale Quasi-Structure, Jpn. J. Appl. Phys., 44, L48 (2004) , shows how the surface of the wings of Morpho retenor is covered by small scales, which in turn have a three-dimensional fir-tree-like structure on their surface. The lamellae form a multi-layer system which reflects the blue light by wavelength-specific interference and, due to the vertical offset of the individual fir tree structures, also covers a significantly larger solid angle than the simple multilayer systems could. In addition to the optical properties, the wings also have a self-cleaning effect, which is also due to the unique nanostructures.

Für den Bereich der Solarzellen ist ein anderer Schmetterling interessant, Troides aeacus. Die Schuppen auf den schwarzen Teilen der Flügel weisen eine inverse V-Struktur auf, welche eine Dicke von ca. 200 nm bei einer Strukturhöhe von 1,2 µm aufweist. Zhao et al., Art of blackness in butterfly wings as natural solar collector, Soft Matter, 7, 11433 (2011) zeigen wie diese Struktur maßgeblich an der geringen Reflektion des Lichts beteiligt ist, der der Troides aeacus seine schwarze Farbgebung verdankt. For the field of solar cells another butterfly is interesting, Troides aeacus. The flakes on the black parts of the wings have an inverse V-structure, which has a thickness of about 200 nm at a structural height of 1.2 microns. Zhao et al., Art of blackness in butterfly wings as natural solar collector, 7, 11433 (2011) show how this structure is significantly involved in the low reflection of the light, to which the Troides aeacus owes its black coloring.

M. Aryal et al. stellen in Large area nanofabrication of butterfly wing's three dimensional ultrastructures, J. Vac. Sci. Technol. B30, 061802 (2012) die Strukturen des Morphe Rhetenor her, indem sie Silizium-Verbindungen verwenden, welche in Herstellung und Verarbeitung aufwendig sind. Sie beschreiben Möglichkeiten dreidimensionale Nanostrukturen herzustellen auf Basis von Mehrschichtsystemen aus Siliziumoxid und Siliziumnitrid. Die somit hergestellten Strukturen sind hart und nicht vielfältig einsetzbar. M. Aryal et al. In large area nanofabrication of butterfly wing's three dimensional ultrastructures, J. Vac. Sci. Technol. B30, 061802 (2012) Morph Rhetenor's structures by using silicon compounds that are complex to manufacture and process. They describe the possibilities of producing three-dimensional nanostructures based on multilayer systems of silicon oxide and silicon nitride. The structures thus produced are hard and not versatile.

Zur Massenherstellung solcher definierten mikro- bzw. Nanostrukturen auf großen Flächen haben sich ebenfalls Replikationsverfahren bewährt, in welchen für die entsprechenden Bau- oder Formteile eine Masterform (ein sogenannter Formeinsatz) angefertigt wird, durch dessen Nutzung als Matrize das Bauteil vielfach repliziert werden kann. M. Heilig et al. Technology of microthermoforming of complex three-dimensional parts wit multiscale features, Microsyst. Technol. 14:593–600 (2011) zeigt derartig repliziert Strukturen. Das Verfahren weist jedoch eine Einschränkung in der Größe der hergestellten Strukturen auf. For mass production of such defined micro- or nanostructures on large areas, replication methods have also proven successful, in which a master mold (a so-called mold insert) is made for the corresponding structural or molded parts, through the use of which the component can be replicated many times. M. Heilig et al. Technology of microthermoforming of complex three-dimensional parts with multiscale features, Microsyst. Technol. 14: 593-600 (2011) shows such replicated structures. However, the method has a limitation on the size of the fabricated structures.

Aufgabenstellung task

Ausgehend hiervon besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, die Einschränkungen und Nachteile des Standes der Technik zu überwinden. Insbesondere liegt der vorliegenden Erfindung somit die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren bereitzustellen, welches ermöglicht flexible mikro- und nanostrukturierte Formkörper mit dreidimensionalen Oberflächen ohne Größeneinschränkung im Nanometerbereich großflächig herzustellen. Insbesondere wird die Herstellung von Nanostrukturen auf bereits strukturierten Oberflächen ermöglicht. Based on this, the object of the present invention is to overcome the limitations and disadvantages of the prior art. In particular, the present invention is therefore based on the object of providing a method which makes it possible to manufacture flexible microstructured and nanostructured molded bodies with three-dimensional surfaces without size limitation in the nanometer range over a large area. In particular, the production of nanostructures on already structured surfaces is made possible.

Ferner besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung in der Bereitstellung eines flexiblen mikro- und nanostrukturierte Formkörpers mit dreidimensionalen Oberflächen sowie dessen Verwendung. Furthermore, the object of the present invention is to provide a flexible micro- and nanostructured molded body with three-dimensional surfaces and its use.

Lösung solution

Diese Aufgabe wird hinsichtlich des Verfahrens zur Herstellung eines Formkörpers durch die Verfahrensschritte des Anspruchs 1, hinsichtlich des Formkörpers durch die Merkmale des Anspruchs 8 und hinsichtlich der Verwendung des Formkörpers durch den Anspruch 11 gelöst. Die Unteransprüche geben hierzu vorteilhafte Ausgestaltungen wieder. This object is achieved with regard to the method for producing a shaped body by the method steps of claim 1, with respect to the shaped body by the features of claim 8 and with respect to the use of the shaped body by the claim 11. The dependent claims give this advantageous embodiments again.

Detaillierte Beschreibung Detailed description

Die Lösung der Aufgabe basiert auf einem Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers. Zur Durchführung dieses Herstellungsverfahrens wird in einem ersten Verfahrensschritt a) bei einer Temperatur oberhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers eine erste Struktur in eine Folie umfassend ein Formgedächtnispolymer eingebracht. Die Temperatur bleibt unterhalb der Zersetzungstemperatur des Formgedächtnispolymers. Dabei entsteht eine strukturierte Folie, die der permanenten Form entspricht. The solution of the problem is based on a method for producing a shaped body. To carry out this production process, a first structure is introduced into a film comprising a shape memory polymer in a first process step a) at a temperature above the permanent deformation temperature of the shape memory polymer. The temperature remains below the decomposition temperature of the shape memory polymer. The result is a structured film that corresponds to the permanent shape.

Als permanente Verformungstemperatur wird die Temperatur definiert, bei der es möglich ist einem Polymer mit Formgedächtnis in eine permanente Form zu fixieren. Polymere mit Formgedächtnis können dann vorübergehend in einer deformierten Form fixiert werden. Als Rückstelltemperatur oder Schalttemperatur wird die Temperatur bezeichnet, bei der die ursprüngliche, permanente Form erneut eingenommen wird und die temporär fixierte Form ersetzt wird. The permanent deformation temperature is defined as the temperature at which it is possible to fix a polymer with shape memory into a permanent shape. Shape memory polymers can then be temporarily fixed in a deformed form. The reset temperature or switching temperature is the temperature at which the original, permanent shape is resumed and the temporarily fixed shape is replaced.

Daraufhin wird in einem zweiten Verfahrensschritt b) bei einer Temperatur unterhalb der Rückstelltemperatur des Formgedächtnispolymers die strukturierte Folie flachgedrückt, sodass eine planare Folie, d.h. eine Folie mit planarer Strukturoberfläche entsteht, die nun der temporären Form entspricht. Then, in a second process step b), at a temperature below the recovery temperature of the shape memory polymer, the structured film is flattened so that a planar film, i. a film with a planar structure surface is created, which now corresponds to the temporary shape.

Im anschließenden Verfahrensschritt c) wird ein Polymerfilm auf die planare Folie, die nun als Substrat dient, aufgebracht, wobei ein Verbund umfassend ein Film und der planaren Folie entsteht. In einem weiteren Verfahrensschritt d) wird eine zweite Struktur in den Polymerfilm eingebracht. Dabei entsteht ein strukturierter Verbund umfassend ein strukturierter Polymerfilm und die planare Folie. In the subsequent process step c), a polymer film is applied to the planar film, which now serves as a substrate, to form a composite comprising a film and the planar film. In a further method step d), a second structure is introduced into the polymer film. This results in a structured composite comprising a structured polymer film and the planar film.

Anschließend wird das Formgedächtnispolymer bei einer Temperatur oberhalb der Rückstelltemperatur und unterhalb der permanenten Verformungstemperatur auf die strukturierte Form aus Verfahrensschritt a) zurückgestellt, sodass ein Formkörper umfassend den strukturierten Polymerfilm und die im Verfahrensschritt a) strukturierte Folie als Trägerstruktur für den Polymerfilm entsteht. Der Formkörper wird daraufhin entnommen. Subsequently, the shape memory polymer is returned to the structured form from process step a) at a temperature above the reset temperature and below the permanent deformation temperature, so that a shaped body comprising the structured polymer film and the film structured in process step a) is formed as a carrier structure for the polymer film. The molding is then removed.

In einer besonderen Ausgestaltung wird zwischen den Verfahrensschritten a) und b) die strukturierte Folie lateral auseinander gezogen. Vorzugsweise erfolgt dieses Auseinanderziehen bei ca. 100 °C aber immer unterhalb der permanenten Verformungstemperatur, damit das Formgedächtnispolymer nicht zu starr ist und aufreißt. Dadurch wird die Periode der ersten Struktur verlängert. Danach wird die verstreckte strukturierte Folie abgekühlt und entnommen. Bei einer Verstreckung bei Raumtemperatur ist die maximale Verstreckung eingeschränkt. Beim anschließenden Flachdrücken werden durch das Auseinanderziehen die bestehenden ersten Strukturen nicht umgekippt, sondern wirklich flachgedrückt. Gerade bei höheren Aspektverhältnissen der Strukturen wird ein Umkippen der ersten Strukturen in der Tat möglich. Insbesondere ist das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren vorteilhaft für erste Strukturen, die ein Aspektverhältnis ab 1, bevorzugt ab 1,2, besonders bevorzugt ab 1,5 aufweisen. Vorzugsweise weisen die Strukturen einen rechteckigen Querschnitt auf. Die laterale Verstreckung bleibt bis zur Rückstellung des Formgedächtnispolymers erhalten. Somit wird gewährleistet, dass der in Verfahrensschritt c) aufgebrachte Polymerfilm auf der ganzen Folie verteilt wird und die ersten Strukturen bei der Rückstellung des Formgedächtnispolymers in die ihre ursprüngliche Form zurückfinden und, dass diese nicht aus der gekippten Form in eine aufrechte Form übergehen. Bei letzterem würde nämlich keine 100% Rückstellung möglich. In a particular embodiment, the structured film is pulled apart laterally between method steps a) and b). Preferably, this separation at about 100 ° C but always below the permanent deformation temperature, so that the shape memory polymer is not too rigid and ruptures. This lengthens the period of the first structure. Thereafter, the stretched structured film is cooled and removed. When stretched at room temperature, the maximum draw is limited. In the subsequent flattening the existing first structures are not overturned by pulling apart, but really flattened. Especially with higher aspect ratios of structures tipping of the first structures is indeed possible. In particular, the production method according to the invention is advantageous for first structures which have an aspect ratio of from 1, preferably from 1.2, more preferably from 1.5. Preferably, the structures have a rectangular cross-section. The lateral stretching is retained until recovery of the shape memory polymer. Thus, it is ensured that the polymer film applied in process step c) is distributed over the entire film and that the first structures return to their original shape upon recovery of the shape memory polymer and that they do not change from the tilted mold to an upright mold. In the latter case, no 100% provision would be possible.

Die Verstreckung wird manuell oder maschinell durchgeführt. Vorzugsweise erfolgt das Auseinanderziehen mittels einer Zugprüfmaschine, welche bessere und reproduzierbare Ergebnisse liefert. Vorzugsweise wird die Folie mit einer Geschwindigkeit von 1cm/s auf bis zu 450% verstreckt. The stretching is done manually or by machine. Preferably, the pulling apart by means of a tensile testing machine, which provides better and reproducible results. Preferably, the film is drawn at a speed of 1 cm / s up to 450%.

In einer besonderen Ausgestaltung erfolgt das Einbringen der Struktur in die Folie im ersten Verfahrensschritt a) durch das Einbringen der Folie umfassend ein Formgedächtnispolymer zwischen zwei parallele wärmeleitfähige Platten, wobei zumindest die zweite Platte mit einer Struktur versehen ist. Weiterhin wird ein Pressdruck zwischen den beiden Platten angelegt und die beiden Platten aufgeheizt, sodass die Folie auf eine Temperatur oberhalb der permanenten Verformungstemperatur und unterhalb der Zersetzungstemperatur des Formgedächtnispolymers erhitzt wird und durch die Abformung der Struktur in die Folie eine strukturierte Folie entsteht. Anschließend wird die strukturierte Folie bis zu einer Temperatur unter der Glasübergangstemperatur des Formgedächtnispolymers gebracht und entnommen. In a particular embodiment, the structure is introduced into the film in the first method step a) by introducing the film comprising a shape memory polymer between two parallel thermally conductive plates, wherein at least the second plate is provided with a structure. Furthermore, a pressing pressure is applied between the two plates and the two plates are heated, so that the film is heated to a temperature above the permanent deformation temperature and below the decomposition temperature of the shape memory polymer and formed by the formation of the structure in the film, a structured film. Subsequently, the patterned film is brought to a temperature below the glass transition temperature of the shape memory polymer and removed.

In einer weiteren Ausgestaltung wird im zweiten Verfahrensschritt b) die strukturierte Folie zwischen zwei parallele wärmeleitfähige Platten eingebracht, wobei beide Platten eine planare Oberfläche aufweisen. Anschließend wird ein Pressdruck zwischen den beiden Platten angelegt und die beiden Platten aufgeheizt, sodass die strukturierte Folie auf eine Temperatur unterhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers erhitzt wird und somit die im Verfahrensschritt a) in die Folie abgeformte Struktur flach gedrückt wird. Schließlich wird die planare Folie entnommen. Bei einer Erhitzung unterhalb der permanenten Verformungstemperatur lässt sich das Formgedächtnispolymer leichter verformen und die benötigten Kräfte sind geringer. In a further embodiment, in the second method step b) the structured film is introduced between two parallel heat-conducting plates, wherein both plates have a planar surface. Subsequently, a pressing pressure is applied between the two plates and the two plates are heated, so that the structured film is heated to a temperature below the permanent deformation temperature of the shape memory polymer and thus the structure molded in the film in step a) is flattened. Finally, the planar foil is removed. at When heated below the permanent strain temperature, the shape memory polymer is easier to deform and the forces required are less.

Vorzugsweise erfolgt der Verfahrensschritt c) mittels einer Beschichtung der planaren Folie durch den Polymerfilm. Vorzugsweise wird dafür das Verfahren des Spraycoatings, horizontal dip (H-dip) coatings, der chemischen Gasphasenabscheidung oder Chemical Vapor Deposition (CVD), bei der ein Monomer aufgedampft wird und an der Oberfläche des Substrats polymerisiert, und besonders bevorzugt des Spincoatings. Dazu wird ein in Lösung befindliches Polymer mittig auf das Substrat getropft. Das Substrat wird um eine orthogonal zur Folie orientierte Drehachse gedreht, wobei die Schichtdicke über die Rotationsgeschwindigkeit und die Polymerkonzentration der Lösung kontrolliert wird. Die Schichtdicke des Polymerfilms wird vorzugsweise zwischen 10 nm und 100 nm gewählt, da der Film später nicht auf einen Formeinsatz umgelegt werden muss und deshalb eine geringe Dicke aufweisen kann. Das Handling mit Folien in einer Dicke von 10 bis 100 nm ist sehr schwierig, da sie mechanisch nicht stabil sind. Das Aushärten des Polymers erfolgt bei niedrigen Temperaturen vorzugsweise bei Raumtemperatur, um ein vorzeitiges Rückstellen des Formgedächtnispolymers zu verhindern. Preferably, method step c) is carried out by means of a coating of the planar film through the polymer film. Preferably used for this is the process of spray coating, horizontal dip (H-dip) coatings, chemical vapor deposition or chemical vapor deposition (CVD), in which a monomer is vapor-deposited and polymerized on the surface of the substrate, and particularly preferably spin-coating. For this purpose, a polymer in solution is added dropwise in the middle of the substrate. The substrate is rotated about an axis of rotation oriented orthogonally to the film, the layer thickness being controlled by the rotational speed and the polymer concentration of the solution. The layer thickness of the polymer film is preferably selected between 10 nm and 100 nm, since the film later does not have to be transferred to a mold insert and therefore may have a small thickness. The handling of films in a thickness of 10 to 100 nm is very difficult because they are not mechanically stable. The curing of the polymer is carried out at low temperatures, preferably at room temperature, to prevent premature recovery of the shape memory polymer.

In einer besonderen Ausgestaltung erfolgt das Aufbringen des Polymerfilms auf die planare Folie mittels Spincoating. Dazu wird ein in Lösung befindliches Polymer mittig auf das Substrat getropft. Das Substrat wird um seine Hochachse gedreht, wobei die Schichtdicke über die Rotationsgeschwindigkeit und die Konzentration der Lösung kontrolliert wird. Die Schichtdicke wird äußerst dünn gewählt, da der Film später nicht auf einen Formeinsatz umgelegt werden muss. Die Dicke der Polymerschicht hängt vom herkömmlichen Prozess des Spincoatens ab und beträgt bis dato mindestens bis zu 10 nm Untergrenze. Das Aushärten des Polymers erfolgt anders als beim herkömmlichen Spincoaten bei Temperaturen unterhalb der Rückstelltemperatur vorzugsweise unter 30°C besonders bevorzugt bei Raumtemperatur, um ein vorzeitiges Rückstellen des Formgedächtnispolymers zu verhindern. Dabei erfolgt die Aushärtung vorzugsweise bei Raumtemperatur und unter Vakuum, um die benötigte Zeit von bis zu 12 Stunden ohne Vakuum auf 1 Stunde mit Vakuum zu verringern. In a particular embodiment, the application of the polymer film to the planar film by means of spin coating. For this purpose, a polymer in solution is added dropwise in the middle of the substrate. The substrate is rotated about its vertical axis, whereby the layer thickness is controlled by the rotational speed and the concentration of the solution. The layer thickness is chosen to be extremely thin, since the film does not later have to be transferred to a mold insert. The thickness of the polymer layer depends on the conventional process of spin coating and is at least up to 10 nm lower limit. The curing of the polymer is carried out at temperatures below the recovery temperature, preferably below 30 ° C., more preferably at room temperature, unlike conventional spin coating, in order to prevent premature recovery of the shape memory polymer. The curing is preferably carried out at room temperature and under vacuum to reduce the time required of up to 12 hours without vacuum to 1 hour with vacuum.

In einer besonderen Ausgestaltung erfolgt das Einbringen der Struktur in den Polymerfilm mittels zweier parallelen Platten, wobei zumindest die zweite Platte mit einer Struktur versehen ist. Nach dem Einbringen des Verbunds zwischen beide Platten wird erneut ein Pressdruck zwischen den beiden Platten angelegt und die beiden Platten aufgeheizt, sodass der Verbund um oder oberhalb der Glasübergangstemperatur des Polymers des Polymerfilms und unterhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers erhitzt wird. Durch die Abformung der Struktur in den Polymerfilm entsteht ein strukturierter Verbund umfassend den strukturierter Polymerfilm und die planare Folie. Anschließend wird der somit strukturierte Verbund bis zu einer Temperatur unter der Glasübergangstemperatur des Formgedächtnispolymers gekühlt und entnommen. In a particular embodiment, the structure is introduced into the polymer film by means of two parallel plates, wherein at least the second plate is provided with a structure. Following the introduction of the bond between both plates, a pressing pressure is again applied between the two plates and the two plates are heated so that the composite is heated at or above the glass transition temperature of the polymer of the polymer film and below the permanent deformation temperature of the shape memory polymer. The patterning of the structure into the polymer film results in a structured composite comprising the structured polymer film and the planar film. Subsequently, the thus structured composite is cooled and taken out to a temperature below the glass transition temperature of the shape memory polymer.

Vorzugsweise beträgt der Pressdruck einen Wert von 10 bis 30 MPa und hängt vom Polymer und der Verfahrenstemperatur. Preferably, the pressing pressure is 10 to 30 MPa and depends on the polymer and the process temperature.

In einer besonderen Ausgestaltung erfolgt Verfahrensschritt d) unter Vakuum. Dabei wird das Polymer im Vakuum über seine Glasübergangstemperatur erhitzt und mit Druck in die der Struktur entsprechenden Kavitäten der zweiten Platte gepresst. Das Polymer fließt in die Kavitäten und füllt diese aus. Das Vakuum verhindert, dass während dem Aneinanderpressen der Platten Luft in die Kavitäten gelangen und der Druck zu einer Temperaturerhöhung führt, die das Polymer nach dem Prinzip des Diesel-Effekts verbrennen würden. In a particular embodiment, process step d) is carried out under vacuum. In this case, the polymer is heated in vacuum above its glass transition temperature and pressed under pressure into the cavities corresponding to the structure of the second plate. The polymer flows into the cavities and fills them out. The vacuum prevents air from entering the cavities while the plates are pressed together, and the pressure leads to an increase in temperature which would burn the polymer according to the principle of the diesel effect.

Vorzugsweise wird während Verfahrensschritt d) der Pressdruck so lange aufrechterhalten, bis die Temperatur unter die Rückstelltemperatur des Formgedächtnispolymers vorzugsweise unter 30°C gesunken ist. Dies ist wichtig, um zusätzliche Entformkräfte zu vermeiden, die aufgrund einer verfrühten Rückstellung des Formgedächtnispolymers auftreten und die geprägten Strukturen beschädigen. Preferably, during process step d) the pressing pressure is maintained until the temperature has dropped below the recovery temperature of the shape memory polymer, preferably below 30 ° C. This is important to avoid additional demolding forces that occur due to premature recovery of the shape memory polymer and damage the embossed structures.

In einer weiteren Ausgestaltung erfolgt das Rückstellen des Formgedächtnispolymers, indem zunächst der strukturierte Verbund auf eine wärmeleitfähige Platte aufgebracht wird, wobei die Platte eine planare Oberfläche aufweist. Anschließend wird die Platte auf die Glasübergangstemperatur des Polymers und unterhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers aufgeheizt. Dadurch entsteht ein Formkörper umfassend den strukturierten Polymerfilm und die strukturierte Folie. Der Formkörper wird daraufhin abgekühlt und entnommen. Bei dieser Temperatur kann der Film entsprechend des Prinzips des Thermoformens leichter verformt werden, während die zweite Struktur des Polymerfilms erhalten bleibt. Das Formgedächtnispolymer stellt sich aus seiner planaren Form in seine ursprüngliche strukturierte Form zurück und formt dabei die Polymerfolie in ihre erste Struktur ohne die zweite Struktur zu schädigen. In a further embodiment, the resetting of the shape memory polymer takes place by first applying the structured composite to a thermally conductive plate, the plate having a planar surface. Subsequently, the plate is heated to the glass transition temperature of the polymer and below the permanent deformation temperature of the shape memory polymer. This results in a shaped body comprising the structured polymer film and the structured film. The molding is then cooled and removed. At this temperature, the film can be more easily deformed according to the principle of thermoforming, while maintaining the second structure of the polymer film. The shape memory polymer reverts from its planar form to its original structured form, thereby forming the polymer film into its first structure without damaging the second structure.

In einer weiteren Ausgestaltung wird während Verfahrensschritt e) ein Gasdruck von 5 bis 50 bar eingesetzt. Dieser Gasdruck, der in der Umgebung der Polymerfilmoberfläche herrscht, ermöglicht es, dass während der Rückstellung des Formgedächtnispolymers die Strukturen im Polymerfilm unbeschädigt bleiben, der Polymerfilm am Formgedächtnispolymer als unterstes Substrat haften bleibt. Damit wird ein Ablösen des aufgebrachten Polymerfilms während der Rückstellung des Formgedächtnispolymers von diesem in Verfahrensschritt e) verhindert. In a further embodiment, a gas pressure of 5 to 50 bar is used during process step e). This gas pressure in the environment the polymer film surface prevails, allows the structures in the polymer film to remain undamaged during recovery of the shape memory polymer, the polymer film to adhere to the shape memory polymer as the lowermost substrate. Thus, a release of the applied polymer film during the recovery of the shape memory polymer is prevented by this in process step e).

Vorzugsweise wird in letzterem Verfahrensschritt der Rückstellung der strukturierte Verbund in eine Zugprüfmaschine eingespannt. Dies erlaubt ein kontrolliertes laterales Rückstellen und je nach Bedarf eine Verzögerung der lateralen Rückstellung bis die vertikale Rückstellung eingesetzt hat oder schon abgeschlossen ist. Preferably, in the latter method step of restoring the structured composite is clamped in a tensile testing machine. This allows a controlled lateral reset and, as needed, a delay of the lateral reset until the vertical reset has begun or is already completed.

Die vorliegende Erfindung umfasst weiterhin einen Formkörper. Dieser umfasst eine strukturierte Folie mit einer ersten Struktur, auf der ein verformter strukturierter Polymerfilm mit einer Unter- und einer Oberseite aufgebracht ist. Ferner ist dieser mit seiner Unterseite fest mit einer Oberfläche der strukturierten Folie verbunden und weist auf seiner Oberseite eine von der ersten Struktur unabhängige zweite Struktur auf, wobei die zweite Struktur eine Tiefe unter 500 nm aufweisen. The present invention further includes a molded article. This comprises a structured film having a first structure on which a deformed structured polymer film having a bottom and a top is applied. Further, this is fixedly connected with its underside with a surface of the structured film and has on its upper side a second structure independent of the first structure, the second structure having a depth below 500 nm.

In einer weiteren Ausgestaltung beträgt die Dicke des Polymerfilms beträgt zwischen 10% und 50 der Kavitätsbreite der zweiten Struktur. Ansonsten passt die Polymerfolie nicht in die Kavitäten. Wird nämlich eine Folie in eine Kavität verstreckt, darf die Folie maximal halb so dick sein wie die Kavität breit ist. Dies liegt daran, dass die Folie auf der einen Seite in die Kavität hinein muss und auf der anderen Seite wieder herauskommen muss. Ist die Folie zu dick, kann sie nicht in die Kavität gepresst werden, weil der zur Verfügung stehende Platz in der Kavität nicht ausreicht. Somit beeinflusst die Foliendicke die untere Grenze der Größe der thermogeformten Strukturen. In a further embodiment, the thickness of the polymer film is between 10% and 50 of the cavity width of the second structure. Otherwise, the polymer film does not fit into the cavities. If a film is stretched in a cavity, the film may be at most half as thick as the cavity is wide. This is because the film has to go into the cavity on one side and come out on the other side. If the film is too thick, it can not be pressed into the cavity, because the available space in the cavity is insufficient. Thus, the film thickness affects the lower limit of the size of the thermoformed structures.

Vorzugsweise beträgt die Dicke der Folie umfassend ein Formgedächtnispolymer einen Wert zwischen 100 nm und 1 µm. Preferably, the thickness of the film comprising a shape memory polymer is between 100 nm and 1 μm.

In einer besonderen Gestaltung umfasst die strukturierte Folie, ein Formgedächtnispolymer. Vorzugsweise umfasst der verformte strukturierte Polymerfilm ein thermoplastischer Elastomer bevorzugt Polymethylmethacrylat (PMMA). In a particular embodiment, the patterned film comprises a shape memory polymer. Preferably, the deformed structured polymer film comprises a thermoplastic elastomer, preferably polymethyl methacrylate (PMMA).

Vorzugsweise umfasst das Formgedächtnispolymer thermoplastische Elastomere bevorzugt aromatische polyetherbasierte thermoplastische Polyurethane. Diese Polymere eignen sich für das plastische Thermoformen. Vorzugsweise umfasst der verformte strukturierte Polymerfilm Polymethylmethacrylat (PMMA) in Lösungsmittel. In einer besonderen Ausgestaltung sollen Lösungsmittel ausgewählt werden, die den aufzubringenden Polymerfilm bevorzugt PMMA lösen, die Formgedächtnispolymere bevorzugt Tecoplast und Tecoflex aber nicht. Es kommen im Fall von PMMA als Polymerfilm und Tecoplast oder Tecoflex als Folien folgende Lösungsmittel in Frage:

  • – Aromatische Kohlenwasserstoffe wie zum Beispiel Toluol oder Xylol oder eine Mischung aus beiden.
  • – Benzolderivate
  • – Starke Basen
Preferably, the shape memory polymer comprises thermoplastic elastomers, preferably aromatic polyether-based thermoplastic polyurethanes. These polymers are suitable for plastic thermoforming. Preferably, the deformed structured polymer film comprises polymethylmethacrylate (PMMA) in solvent. In a particular embodiment, solvents should be selected which preferentially dissolve the polymer film to be applied PMMA, but the shape memory polymers preferably Tecoplast and Tecoflex not. In the case of PMMA as the polymer film and Tecoplast or Tecoflex as films, the following solvents are suitable:
  • Aromatic hydrocarbons such as toluene or xylene or a mixture of both.
  • - Benzene derivatives
  • - Strong bases

Das Lösungsmittel wird derart ausgewählt, dass es das Formgedächtnispolymer nicht angreift, die Rückstellung des Formgedächtnispolymers nicht bereits chemisch einleitet und ein niedriger Dampfdruck für den Verfahrensschritt des Spincoatens aufweist. In der Tat gewährleistet ein niedriger Dampfdruck eine geringe Rauigkeit und eine gleichmäßige Schicht mit deutlich verringerten radialen Dickeschwankungen. Als Mittel der Wahl wird als Lösungsmittel beim Spincoaten üblicherweise Anisol benutzt, welches ein niedriger Dampfdruck aufweist. Anisol leitet aber eine frühzeitige chemische Rückstellung des Formgedächtnispolymers ein. Entgegen der allgemeinen Lehre ist das Lösungsmittel bevorzugt Toluol oder Xylol oder einer Mischung aus beiden, welches als reines ortho-, meta- oder para-Xylol vorliegt oder als Mischung von mindestens 2 dieser Konstitutionsisomeren besonders bevorzugt Xylol. The solvent is selected such that it does not attack the shape memory polymer, does not chemically initiate recovery of the shape memory polymer, and has a low vapor pressure for the spin coating process step. In fact, a low vapor pressure ensures low roughness and a uniform layer with significantly reduced radial thickness variations. As a medium of choice is used as solvent in spin coating usually anisole, which has a low vapor pressure. However, anisole initiates early chemical recovery of the shape memory polymer. Contrary to the general teaching, the solvent is preferably toluene or xylene or a mixture of both, which is present as pure ortho, meta or para-xylene or as a mixture of at least 2 of these constitution isomers particularly preferably xylene.

Vorzugsweise hat das Polymer aus der Polymerfolie eine Glasübergangstemperatur die oberhalb der Rückstelltemperatur des Formgedächtnispolymers liegt, weil sonst die Strukturen des Polymers zerfließen würden, sobald die Rückstelltemperatur bei Verfahrensschritt e) erreicht wird. Weiterhin liegt vorzugsweise die Glasübergangstemperatur des Polymers aus der Polymerfolie unterhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers. Preferably, the polymer film polymer has a glass transition temperature which is above the recovery temperature of the shape memory polymer, otherwise the structures of the polymer would deliquesce once the recovery temperature is reached in step e). Furthermore, the glass transition temperature of the polymer from the polymer film is preferably below the permanent deformation temperature of the shape memory polymer.

In einer weiteren Ausgestaltung weist die zweite Struktur des verformten strukturierten Polymerfilms Hinterschnitte auf, die sich aus der Rückstellung des Formgedächtnispolymers aus seiner planaren Form in eine strukturierte Form ergeben. In a further embodiment, the second structure of the deformed structured polymer film has undercuts resulting from the recovery of the shape memory polymer from its planar form into a structured form.

Ferner betrifft die vorliegende Erfindung eine Verwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung von Antireflexbeschichtungen für Solarzellen und optische Detektoren, farbpigmentfreie farbige Flächen mit Selbstreinigungseffekt oder Mikrokanäle mit strukturierten Wänden. Furthermore, the present invention relates to a use of the method according to the invention for the production of antireflection coatings for solar cells and optical detectors, color pigment-free colored surfaces with self-cleaning effect or microchannels with structured walls.

Insbesondere lässt sich das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung von großflächigen dreidimensionalen Strukturen im Mikro- und Nanobereich wie zum Beispiel photonische Strukturen, nicht-wellenlängen-spezifische Antireflexbeschichtungen für Solarzellen oder optische Detektoren verwenden. In particular, the process according to the invention can be used for the production of large-area three-dimensional structures in the micro and nanoscale, such as photonic structures, non- use wavelength-specific antireflection coatings for solar cells or optical detectors.

Ein besonderer Vorteil der vorliegenden Erfindung ist, dass durch das erfindungsgemäße Verfahren das Handling dünnster Polymerfolien zwischen 30 und 1000 nm) vereinfacht bzw. erst ermöglicht wird. Der Umgang mit dünnsten Polymerfolien wird während des gesamten Verfahrens vermieden. Somit entfällt eine diffizile und dadurch störanfällige Komponente in der Herstellung, die unterhalb des einstelligen Mikrobereichs auftritt. Die geringen Dicken der Folien sind dabei eine Grundvoraussetzung zur Erzeugung von Mikro- und Nanostrukturen, da die theoretische Grenze der Schichtdicken bei der halben Kavitätsbreite der Strukturen liegt. Des Weiteren erlaubt die gleichmäßige Verstreckung der Folie höhere Aspektverhältnisse und Hinterschnitte, als dies beim klassischen Thermoformen mit in erster Näherung quadratischem Dickenverlauf der Fall ist. A particular advantage of the present invention is that the handling of the thinnest polymer films between 30 and 1000 nm) is simplified or only made possible by the process according to the invention. Dealing with the thinnest polymer films is avoided throughout the process. This eliminates the need for a troublesome component that is susceptible to failure in production and which occurs below the single-digit micro range. The small thicknesses of the films are a basic requirement for the production of microstructures and nanostructures, since the theoretical limit of the layer thicknesses lies at half the cavity width of the structures. Furthermore, the uniform stretching of the film allows higher aspect ratios and undercuts than is the case in classical thermoforming with a first approximate square thickness profile.

Ein weiterer Vorteil, ist dass die mittels des erfindungsgemäßen Verfahren erzeugten Strukturen sind echt dreidimensional, entsprechend einer Topographie auf einer existierenden Grundstruktur im Gegensatz zu den vertikalen Projektionen zweidimensionaler Strukturen des klassischen Heißprägeprozesses. Eventuelle Spannungen und dadurch verursachte Beschädigungen des Formkörpers während des Entformens werden hier vermieden. Des Weiteren wird die Polymerfolie gleichmäßig verstreckt, was beim klassischen Thermoformen nicht der Fall ist. Somit wird die ungleichmäßige Ausdünnung der Folien im Thermoformprozess umgangen, was letztlich auch höhere Aspektverhältnisse ermöglicht. A further advantage is that the structures produced by means of the method according to the invention are truly three-dimensional, corresponding to a topography on an existing basic structure in contrast to the vertical projections of two-dimensional structures of the classical hot stamping process. Any stresses and damage caused by the molding during demolding are avoided here. Furthermore, the polymer film is stretched uniformly, which is not the case with conventional thermoforming. Thus, the uneven thinning of the films is bypassed in the thermoforming process, which ultimately allows higher aspect ratios.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung liegt in der Größe der herstellbaren dreidimensionalen Strukturen. Diese liegen im Nanometerbereich und sind dadurch für Anwendungen im Bereich des sichtbaren Lichts geeignet. Daraus ergeben sich zahlreiche Einsatzmöglichkeiten beispielsweise in der Herstellung farbiger Oberflächen mit Selbstreinigungseffekt oder allgemein in der immer mehr auf optischen Systemen basierenden Informationstechnologie. Zudem werden die Nanostrukturen großflächig parallel hergestellt, statt seriell und auf kleinen Flächen wie es beispielsweise bei Laserbasierten Methoden der Fall ist. Die dadurch wesentlich günstigere und auch flexiblere Produktion von nanostrukturierten Flächen erlaubt erstmals deren großflächigen Einsatz in technischen Bereichen. Laserbasierte Methoden sind auch durch ihre Wellenlänge eingeschränkt, da sie durch physikalische Gesetze auf Auflösungen im Bereich der Wellenlänge begrenzt sind. Bisherige Produktionstechniken konnten entweder Nanostrukturen liefern, deren Herstellung aufwändig und dadurch langsam, teuer und somit auf kleine Flächen beschränkt ist oder großflächig Strukturen herstellen, deren Mindestgröße aber aufgrund der Produktionsprinzipien nicht auf dieses Maß gesenkt werden konnte. Der hier präsentierte Fertigungsprozess kombiniert die Vorteile beider Prinzipien und erlaubt es, dreidimensionale Nanostrukturen schnell und kostengünstig auf großen Flächen herzustellen. Außerdem besteht durch die Möglichkeit, Polymerfilme direkt auf dem Formgedächtnispolymer spincoaten zu können, noch weiteres Potential diesen Prozess auf noch kleinere Strukturen anzuwenden. Another advantage of the present invention resides in the size of the manufacturable three-dimensional structures. These are in the nanometer range and are therefore suitable for applications in the field of visible light. This results in numerous applications, for example in the production of colored surfaces with self-cleaning effect or generally in the increasingly based on optical systems information technology. In addition, the nanostructures are produced in parallel over a large area, rather than serially and on small surfaces, as is the case, for example, with laser-based methods. The significantly cheaper and also more flexible production of nanostructured surfaces allows for the first time their large-scale use in technical areas. Laser-based methods are also limited by their wavelength because they are limited by laws of physics to resolutions in the wavelength range. Previous production techniques were able to produce either nanostructures, the production of which was laborious and therefore slow, expensive and therefore limited to small areas or large-scale structures produce, the minimum size but could not be reduced to this level due to the production principles. The manufacturing process presented here combines the advantages of both principles and allows three-dimensional nanostructures to be produced quickly and inexpensively on large surfaces. In addition, the possibility of being able to spincoate polymer films directly on the shape memory polymer offers further potential for applying this process to even smaller structures.

Die vorliegende Erfindung erlaubt es großflächig und dadurch kostengünstig dreidimensionale Nanostrukturen mit Polymeren herzustellen. The present invention makes it possible to produce large-area and thus cost-effective three-dimensional nanostructures with polymers.

Ausführungsbeispiele embodiments

Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen und den Figuren näher erläutert. Hierbei zeigen: The invention is explained in more detail below with reference to exemplary embodiments and the figures. Hereby show:

1 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung eines Formkörpers, 1 a schematic representation of a method according to the invention for producing a shaped body,

2 eine schematische Darstellung eines Zwischenschritts des lateralen Auseinanderziehens eines erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung eines Formkörpers, 2 1 is a schematic representation of an intermediate step of the lateral pulling apart of a method according to the invention for producing a shaped body,

3a eine 4000fach vergrößerte Aufnahme mittels Rasterelektronen-mikroskop (kurz REM) eines dreidimensionalen Formkörpers umfassend eine erste dreieckige Struktur, auf der eine zweite Struktur aufgebracht ist, 3a a 4000x magnified image by scanning electron microscope (short REM) of a three-dimensional molded body comprising a first triangular structure on which a second structure is applied,

3b eine 10000fach vergrößerte Aufnahme mittels Rasterelektronenmikroskop (kurz REM) eines dreidimensionalen Formkörpers umfassend eine erste dreieckige Struktur, auf der eine zweite Struktur aufgebracht ist, 3b a 10000x magnified image by scanning electron microscope (REM) of a three-dimensional molded body comprising a first triangular structure on which a second structure is applied,

3c ein mittels Rasterkraftmikroskop (kurz AFM) aufgenommenes Höhenprofil eines Formkörpers umfassend eine erste dreieckige Struktur, auf der eine zweite Struktur aufgebracht ist und 3c a height profile of a shaped body recorded by means of an atomic force microscope (AFM for short) comprising a first triangular structure on which a second structure is applied and

4 eine mittels Rasterkraftmikroskop (kurz AFM) vermessene chemisch induzierte Rückstellung des Formgedächtnispolymers je nach Wahl des Lösungsmittels des Polymerfilms. 4 a chemically induced recovery of the shape memory polymer, as measured by atomic force microscope (AFM for short) depending on the choice of the solvent of the polymer film.

1 zeigt eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers schematisch dargestellt. Hierzu wird zunächst gemäß 1a) eine Folie 10 umfassend ein Formgedächtnispolymer zwischen zwei parallele wärmeleitfähige Platten 30, 31 eingebracht, wobei zumindest die zweite Platte 31 mit einer Struktur 3 versehen ist und ein Pressdrucks zwischen den beiden Platten 30, 31 angelegt. Dann werden die beiden Platten 30, 31 aufgeheizt, sodass die Folie 10 auf eine Temperatur oberhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers erhitzt wird. Durch die Abformung der Struktur 3 in die Folie 10 entsteht eine strukturierte Folie 11. Anschließend wird die strukturierten Folie 11 bis zu einer Temperatur unter der Glasübergangstemperatur des Formgedächtnispolymers abgekühlt und entnommen. 1 shows a schematic representation of a method according to the invention for the production of a shaped body shown schematically. For this purpose, first according to 1a) a slide 10 comprising a shape memory polymer between two parallel thermally conductive plates 30 . 31 introduced, wherein at least the second plate 31 with a structure 3 is provided and a pressing pressure between the two plates 30 . 31 created. Then the two plates 30 . 31 heated, so the film 10 is heated to a temperature above the permanent deformation temperature of the shape memory polymer. By the impression of the structure 3 in the foil 10 creates a structured film 11 , Subsequently, the structured film 11 cooled to a temperature below the glass transition temperature of the shape memory polymer and removed.

Dann wird gemäß 1b) die strukturierten Folie 11 zwischen zwei parallele wärmeleitfähige Platten 40, 41 eingebracht, wobei beide Platten 40, 41 eine flache Oberfläche aufweisen. Anschließend wird ein Pressdruck zwischen den beiden Platten 40, 41 angelegt und die beiden Platten 40, 41 aufgeheizt, sodass die strukturierte Folie 11 auf eine Temperatur unterhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers erhitzt wird und die im Verfahrensschritt gemäß 1a) in die Folie 10 abgeformte Struktur 3 flach gedrückt wird. Eine planare Folie 12 wird daraufhin entnommen. Then according to 1b) the structured foil 11 between two parallel thermally conductive plates 40 . 41 introduced, with both plates 40 . 41 have a flat surface. Subsequently, a pressing pressure between the two plates 40 . 41 laid out and the two plates 40 . 41 heated, so the structured film 11 is heated to a temperature below the permanent deformation temperature of the shape memory polymer and in the process step according to 1a) in the foil 10 molded structure 3 is pressed flat. A planar foil 12 will be removed.

Danach wird gemäß 1c) die planare Folie 12 mit einem Polymerfilm 20 bei einer Temperatur unterhalb der Rückstelltemperatur des Formgedächtnispolymers beschichtet, wobei ein Verbund 60 umfassend den Polymerfilm 20 und der planaren Folie 12 entsteht. Thereafter, according to 1c) the planar foil 12 with a polymer film 20 coated at a temperature below the recovery temperature of the shape memory polymer, wherein a composite 60 comprising the polymer film 20 and the planar foil 12 arises.

Im sich hierzu anschließenden Verfahrensschritt gemäß 1c) wird der Verbund 60 zwischen zwei parallele wärmeleitfähige Platten 50, 51 eingebracht, wobei die zweite Platte 51 mit einer Struktur 5 versehen ist. Daraufhin wird ein Pressdruck zwischen den beiden Platten 50, 51 angelegt und die beiden Platten 50, 51 aufgeheizt, sodass der Verbund auf eine Temperatur um oder oberhalb der Glasübergangstemperatur des Polymers der Polymerfolie 20 und unterhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers erhitzt wird. Durch die anschließende Abformung der Struktur 5 in den Polymerfilm 20 entsteht ein strukturierter Verbund 61 umfassend ein strukturierter Polymerfilm 21 und die planare Folie 12. Daraufhin wird der strukturierte Verbund 61 bis zu einer Temperatur unter der Glasübergangstemperatur des Formgedächtnispolymers abgekühlt und entnommen. In the subsequent process step according to 1c) becomes the composite 60 between two parallel thermally conductive plates 50 . 51 introduced, the second plate 51 with a structure 5 is provided. Then a pressing pressure between the two plates 50 . 51 laid out and the two plates 50 . 51 heated, so that the composite to a temperature around or above the glass transition temperature of the polymer of the polymer film 20 and heated below the permanent deformation temperature of the shape memory polymer. By the subsequent impression of the structure 5 in the polymer film 20 creates a structured network 61 comprising a structured polymer film 21 and the planar foil 12 , Then the structured composite 61 cooled to a temperature below the glass transition temperature of the shape memory polymer and removed.

Im weiteren Verfahrensschritt gemäß 1e) wird der strukturierte Verbund 61 auf eine wärmeleitfähige Platte 70 aufgebracht, wobei die Platte 70 eine flache Oberfläche aufweist. Danach wird der Platte 70 auf die Glasübergangstemperatur des Polymers und unterhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers aufgeheizt, wobei ein Formkörper 62 umfassend den verformten strukturierten Polymerfilm 22 und die strukturierte Folie 11 entsteht. Schließlich wird der Formkörpers 62 abgekühlt und entnommen. In the further process step according to 1e) becomes the structured composite 61 on a thermally conductive plate 70 applied, with the plate 70 has a flat surface. After that, the plate becomes 70 heated to the glass transition temperature of the polymer and below the permanent deformation temperature of the shape memory polymer, wherein a shaped body 62 comprising the deformed structured polymer film 22 and the textured film 11 arises. Finally, the shaped body 62 cooled and removed.

In 4 wird deutlich, dass je nach Wahl des Lösungsmittels des Polymers für den Polymerfilm, die Rückstellung des Formgedächtnispolymers bereits chemisch induziert wird. Dafür wurden als Lösungsmittel Anisol und Xylol getestet. Bei Anisol erkennt man die periodischen ersten Strukturen. Mit Xylol hingegen bleibt die Oberfläche der Folie planar (ausgenommen die leichte Schräge, die auf die Schieflage des Bauteils im Rasterkraftmikroskop zurückzuführen ist). Die Endkonsequenz ist bei dem letzten Verfahrensschritt der thermisch induzierten Rückstellung, eine Rückstellung der ersten Strukturen, die deutlich unter 80% liegt. In 4 As can be seen, depending on the choice of solvent for the polymer film polymer, the recovery of the shape memory polymer is already chemically induced. Anisol and xylene were tested as solvents. With anisole one recognizes the periodic first structures. With xylene, however, the surface of the film remains planar (with the exception of the slight slope, which is due to the tilt of the component in the atomic force microscope). The final consequence in the last step of the thermally induced recovery is a recovery of the first structures which is well below 80%.

Ausführungsbeispiel 1: Embodiment 1

Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wurde gemäß Verfahrensschritt a) zunächst die Folie umfassend ein Formgedächtnispolymer Tecoflex oder Tecoplast programmiert und mit einer ersten Struktur 3 versehen. Dafür wurde das Formgedächtnispolymer Tecoflex oder Tecoplast und der Formeinsatz als wärmeleitfähige Platten in die Nanoimprintanlage eingelegt. Daraufhin wurde die Anlage auf unter 5 mbar Druck evakuiert und eine Kraft von 100–200 N aufgebracht. Anschließend wurde für Tecoflex auf 150 C bzw. für Tecoplast auf 200 C geheizt und gewartet bis die Anlage 5 °C unter der gewünschten Temperatur aufgeheizt war. Nach einer zusätzlichen Wartezeit von 60 s, wurde eine Kraft von 6000 N auf die Fläche des genutzten Formeinsatzes von 45·45 mm2 angelegt, was einem Druck von ca. 3 MPa entspricht. Nach einer Haltezeit von 3 Minuten wurde die Anlage gekühlt, gewartet bis die Temperatur unter 50°C gesunken war, um dann die Kraft auf 0 N zu setzen. Anschließend wurde die Anlage belüftet und die strukturierte Folie entnommen. To carry out the process according to the invention, the film comprising a shape memory polymer Tecoflex or Tecoplast and having a first structure was first of all programmed according to process step a) 3 Mistake. For this purpose, the shape memory polymer Tecoflex or Tecoplast and the mold insert was inserted as thermally conductive plates in the nanoimprint system. Then the system was evacuated to less than 5 mbar pressure and applied a force of 100-200 N. Subsequently, the temperature was heated to 150 ° C. for Tecoflex and to 200 ° C. for Tecoplast, respectively, and the mixture was heated until the plant had heated to 5 ° C. below the desired temperature. After an additional waiting time of 60 s, a force of 6000 N was applied to the surface of the used mold insert of 45 × 45 mm 2 , which corresponds to a pressure of about 3 MPa. After a holding time of 3 minutes, the system was cooled, waited until the temperature had dropped below 50 ° C, and then set the force to 0 N. Subsequently, the system was ventilated and removed the structured film.

Anschließend wurde die strukturierte Folie in einer Zugprüfmaschine mit speziell angefertigter Klemmvorrichtung lateral auseinandergezogen. Subsequently, the structured film was laterally pulled apart in a tensile testing machine with a specially designed clamping device.

Der Verfahrensschritt umfasste das temporäre Flachprägen der Folie an der Warmumformanlage. Die Folie wurde in die Anlage eingelegt und die im Verfahrensschritt a) strukturierte Oberfläche mit einem Silizium-Wafer abgedeckt. Anschließend wurde eine Kraft von 100 bis 200 N aufgebracht und das Tecoflex auf 80 °C bzw. das Tecoplast auf 100 °C aufgeheizt und gewartet bis die Anlage 5 °C unter der gewünschten Temperatur aufgeheizt war. Nach einer zusätzlichen Wartezeit von 60 s, wurde eine Kraft von 20000 N auf die Fläche des genutzten Formeinsatzes von 45·45 mm2 angelegt, was einem Druck von ca. 10 MPa entspricht. Nach einer Haltezeit von 5 Minuten wurde die Anlage gekühlt, gewartet bis die Temperatur unter 30°C gesunken war, um dann die Kraft auf 0 N zu setzen. Anschließend wurde die planare Folie entnommen. The process step involved the temporary flat embossing of the film on the hot-forming plant. The film was placed in the system and covered in step a) structured surface with a silicon wafer. Subsequently, a force of 100 to 200 N was applied and the Tecoflex to 80 ° C and the Tecoplast heated to 100 ° C and waited until the system was heated to 5 ° C below the desired temperature. After an additional waiting time of 60 s, a force of 20,000 N was applied to the surface of the used mold insert of 45 × 45 mm 2 , which corresponds to a pressure of about 10 MPa. After a holding time of 5 minutes, the system was cooled, waited until the temperature had dropped below 30 ° C, and then the force set to 0N. Subsequently, the planar film was removed.

In Verfahrenschritt c) wurde der Polymerfilm mittels Spincoater aufgebracht. Dafür wurde die planare Folie auf ein Si-Wafer zum besseren Halt mittels Klebeband fixiert. Die auf dem Si-Wafer fixierte planare Folie wurde mittig in den Spincoater eingelegt und mittels Vakuum fixiert. Die Polymerlösung Allresist AR-P 672.045 bzw. Allresist AR-P 672.02 bzw. PMMA gelöst in Xylol mit einer Konzentration von 2 Gew.-% oder 3 Gew.-% wurde mittig auf den Formkörper aufgebracht. Das Spincoaten erfolgte mit einer Rotation von 2500 Umdrehungen/min und einer Spindauer von 60 s bei geschlossenem Deckel. Daraufhin wurde der Polymerfilm bei einer Raumtemperatur (unter 30 °C) für 12 bis 16 Stunden oder bei Raumtemperatur und unter einem Vakuum von weniger als 3 mbar für 5 bis 10 min ausgehärtet. In process step c) the polymer film was applied by means of spin coater. For this, the planar film was fixed on a Si wafer for better retention by means of adhesive tape. The planar film fixed on the Si wafer was placed in the center of the spin coater and fixed by means of vacuum. The polymer solution Allresist AR-P 672.045 or Allresist AR-P 672.02 or PMMA dissolved in xylene with a concentration of 2 wt .-% or 3 wt .-% was applied centrally on the molding. The spin coating was carried out with a rotation of 2500 revolutions / min and a spin duration of 60 s with the lid closed. Thereafter, the polymer film was cured at a room temperature (below 30 ° C) for 12 to 16 hours or at room temperature and under a vacuum of less than 3 mbar for 5 to 10 minutes.

Im Verfahrensschritt d) wurde eine zweite Struktur in den Polymerfilm in der Warmumformanlage geprägt, indem der Verbund und der Formeinsatz in die Anlage eingelegt wurden. Eine Kraft von 25000 N wurde auf eine Fläche von 45·45 mm2 aufgebracht, was einem Druck von ca. 12,5 MPa entspricht. Daraufhin wurde das Tecoflex auf 90 °C bzw. das Tecoplast auf 100 °C aufgeheizt und gewartet, bis die Anlage 5°C unter der gewünschten Temperatur aufgeheizt war. Nach einer Wartezeit von 300 s wurde die Anlage abgekühlt bis auf eine Temperatur unter 30 °C und der Verbund aus dem strukturierten Polymerfilm und der planaren Folie entnommen. In process step d), a second structure was embossed into the polymer film in the hot forming unit by placing the composite and the mold insert in the plant. A force of 25,000 N was applied to an area of 45 x 45 mm 2 , which corresponds to a pressure of about 12.5 MPa. Thereafter, the Tecoflex was heated to 90 ° C and the Tecoplast to 100 ° C and waited until the system was heated to 5 ° C below the desired temperature. After a waiting time of 300 s, the system was cooled down to a temperature below 30 ° C. and the composite of the structured polymer film and the planar film was removed.

Im Verfahrensschritt e) wurde dann die erste Struktur oder Primärstruktur wieder hergestellt indem der Verbund aus Verfahrensschritt d) auf eine Platte fixiert wurde, um ungewünschtes verziehen oder Verformen zu verhindern. Die mit dem Verbund versehene Platte wurde im vorgeheizten Ofen bei 100 °C eingelegt und nach einer Wartezeit von 15 min wurde der Formkörper entnommen. In process step e), the first structure or primary structure was then restored by fixing the composite from process step d) to a plate in order to prevent undesired distortion or deformation. The plate provided with the composite was placed in a preheated oven at 100 ° C and after a waiting time of 15 min, the molding was removed.

Ausführungsbeispiel 2: Embodiment 2:

Es wurde mittels dem im Ausführungsbeispiel 1 beschriebenen Verfahren eine 200nm dicke Polymethylmethacrylat-Schicht mit einem Linienmuster von 200 nm Periode heißgeprägt und anschließend auf eine Linienform mit 2,5 µm Periode thermogeformt. It was hot-stamped by the method described in Embodiment 1, a 200nm thick polymethyl methacrylate layer with a line pattern of 200 nm period and then thermoformed to a line shape with 2.5 micron period.

Ausführungsbeispiel 3: Embodiment 3

Analog zu Ausführungsbeispiel 2 wurde eine zweite Struktur mit einer Periode von 400 nm auf eine erste Struktur mit einer Periode von 3 µm mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens aufgebracht. Analogously to exemplary embodiment 2, a second structure with a period of 400 nm was applied to a first structure having a period of 3 μm by means of the method according to the invention.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Claims (11)

Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers (62) mit den Verfahrensschritten a) Einbringen einer ersten Struktur (3) in eine Folie (10) umfassend ein Formgedächtnispolymer bei einer Temperatur oberhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers, wobei eine strukturierte Folie (11) entsteht, b) Flachdrücken der strukturierten Folie (11) bei einer Temperatur unterhalb der Rückstelltemperatur des Formgedächtnispolymers, wobei eine planare Folie (12) entsteht, c) Aufbringen des Polymerfilms (20) auf die planare Folie (12), wobei ein Verbund (60) umfassend ein Film (20) und der planaren Folie (12) entsteht, d) Einbringen einer zweiten Struktur (5) in den Polymerfilm (20), wobei ein strukturierter Verbund (61) umfassend ein strukturierter Polymerfilm (21) und die planare Folie (12) entsteht, e) Rückstellen des Formgedächtnispolymers bei einer Temperatur oberhalb der Rückstelltemperatur und unterhalb der permanenten Verformungstemperatur, wobei ein Formkörper (62) umfassend den strukturierten Polymerfilm (21) und die im Verfahrensschritt a) strukturierte Folie (11) entsteht und f) Entnehmen des Formkörpers (62). Process for producing a shaped article ( 62 ) with the method steps a) introduction of a first structure ( 3 ) in a foil ( 10 ) comprising a shape memory polymer at a temperature above the permanent deformation temperature of the shape memory polymer, wherein a structured film ( 11 ), b) flattening the structured film ( 11 ) at a temperature below the recovery temperature of the shape memory polymer, wherein a planar film ( 12 ), c) application of the polymer film ( 20 ) on the planar foil ( 12 ), whereby a composite ( 60 ) comprising a film ( 20 ) and the planar foil ( 12 ), d) introduction of a second structure ( 5 ) in the polymer film ( 20 ), whereby a structured composite ( 61 ) comprising a structured polymer film ( 21 ) and the planar foil ( 12 e) resetting the shape memory polymer at a temperature above the recovery temperature and below the permanent deformation temperature, wherein a molded article ( 62 ) comprising the structured polymer film ( 21 ) and the film structured in process step a) ( 11 ) and f) removing the shaped body ( 62 ). Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers (62) nach Anspruch 1 mit den Verfahrensschritten a) Einbringen der Folie (10) umfassend ein Formgedächtnispolymer zwischen zwei parallele wärmeleitfähige Platten (30, 31), wobei zumindest die zweite Platte (31) mit einer ersten Struktur (3) versehen ist; Anlegen eines Pressdrucks zwischen den beiden Platten (30, 31) und Aufheizen der beiden Platten (30, 31), sodass die Folie (10) auf eine Temperatur oberhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers erhitzt wird und durch die Abformung der ersten Struktur (3) in die Folie (10) eine strukturierte Folie (11) entsteht; Abkühlen der strukturierten Folie (11) bis zu einer Temperatur unter der Glasübergangstemperatur des Formgedächtnispolymers und Entnahme, b) Einbringen der strukturierten Folie (11) zwischen zwei parallele wärmeleitfähige Platten (40, 41), wobei beide Platten (40, 41) eine flache Oberfläche aufweisen; Anlegen eines Pressdrucks zwischen den beiden Platten (40, 41) und Aufheizen der beiden Platten (40, 41), sodass die strukturierte Folie (11) auf eine Temperatur unterhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers erhitzt wird und die im Verfahrensschritt a) in die Folie (10) abgeformte erste Struktur (3) flach gedrückt wird; Entnahme einer planaren Folie (12); c) Beschichten der planaren Folie (12) mit einem Polymerfilm (20) bei einer Temperatur unterhalb der Rückstelltemperatur des Formgedächtnispolymers, wobei ein Verbund (60) umfassend den Polymerfilm (20) und der planaren Folie (12) entsteht, d) Einbringen des Verbunds (60) zwischen zwei parallele wärmeleitfähige Platten (50, 51), wobei zumindest die zweite Platte (51) mit einer zweiten Struktur (5) versehen ist; Anlegen eines Pressdrucks zwischen den beiden Platten (50, 51) und Aufheizen der beiden Platten (50, 51), sodass der Verbund auf eine Temperatur um oder oberhalb der Glasübergangstemperatur des Polymers der Polymerfolie (20) und unterhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers und erhitzt wird durch die Abformung der zweiten Struktur (5) in den Polymerfilm (20) ein strukturierter Verbund (61) umfassend ein strukturierter Polymerfilm (21) und die planare Folie (12) entsteht; Abkühlen des strukturierten Verbunds (61) bis zu einer Temperatur unter der Glasübergangstemperatur des Formgedächtnispolymers und Entnahme, e) Aufbringen des strukturierten Verbunds (61) auf eine wärmeleitfähige Platte (70), wobei die Platte (70) eine flache Oberfläche aufweist; Aufheizen der Platte (70) auf die Glasübergangstemperatur des Polymers und unterhalb der permanenten Verformungstemperatur des Formgedächtnispolymers, wobei ein Formkörper (62) umfassend den verformten strukturierten Polymerfilm (22) und die strukturierte Folie (11) entsteht; Abkühlen des Formkörpers (62) und Entnahme. Process for producing a shaped article ( 62 ) according to claim 1 with the method steps a) introducing the film ( 10 ) comprising a shape memory polymer between two parallel thermally conductive plates ( 30 . 31 ), wherein at least the second plate ( 31 ) with a first structure ( 3 ) is provided; Applying a pressing pressure between the two plates ( 30 . 31 ) and heating the two plates ( 30 . 31 ), so that the film ( 10 ) is heated to a temperature above the permanent deformation temperature of the shape memory polymer and by the impression of the first structure ( 3 ) in the film ( 10 ) a structured film ( 11 ) arises; Cooling the structured film ( 11 ) to a temperature below the glass transition temperature of the shape memory polymer and removal, b) introduction of the structured film ( 11 ) between two parallel thermally conductive plates ( 40 . 41 ), both plates ( 40 . 41 ) have a flat surface; Applying a pressing pressure between the two plates ( 40 . 41 ) and heating the two plates ( 40 . 41 ), so that the structured film ( 11 ) is heated to a temperature below the permanent deformation temperature of the shape memory polymer and in the process step a) in the film ( 10 ) molded first structure ( 3 ) is pressed flat; Removal of a planar foil ( 12 ); c) coating the planar film ( 12 ) with a polymer film ( 20 ) at a temperature below the recovery temperature of the shape memory polymer, wherein a composite ( 60 ) comprising the polymer film ( 20 ) and the planar foil ( 12 ) arises, d) introduction of the composite ( 60 ) between two parallel thermally conductive plates ( 50 . 51 ), wherein at least the second plate ( 51 ) with a second structure ( 5 ) is provided; Applying a pressing pressure between the two plates ( 50 . 51 ) and heating the two plates ( 50 . 51 ), so that the composite is at a temperature around or above the glass transition temperature of the polymer of the polymer film ( 20 ) and below the permanent deformation temperature of the shape memory polymer and is heated by the impression of the second structure ( 5 ) in the polymer film ( 20 ) a structured composite ( 61 ) comprising a structured polymer film ( 21 ) and the planar foil ( 12 ) arises; Cooling the structured composite ( 61 ) to a temperature below the glass transition temperature of the shape memory polymer and removal, e) application of the structured composite ( 61 ) on a thermally conductive plate ( 70 ), whereby the plate ( 70 ) has a flat surface; Heating the plate ( 70 ) to the glass transition temperature of the polymer and below the permanent deformation temperature of the shape memory polymer, wherein a molded article ( 62 ) comprising the deformed structured polymer film ( 22 ) and the structured film ( 11 ) arises; Cooling the shaped body ( 62 ) and removal. Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers (62) nach Anspruch 1 oder 2, wobei zwischen den Verfahrensschritten a) und b) die strukturierte Folie (11) lateral auseinandergezogen wird. Process for producing a shaped article ( 62 ) according to claim 1 or 2, wherein between the method steps a) and b) the structured film ( 11 ) is pulled apart laterally. Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers (62) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei während Verfahrensschritt d) der Pressdruck so lange aufrechterhalten wird, bis die Temperatur mindestens 5°C unter die Glasübergangstemperatur des Formgedächtnispolymers gesunken ist. Process for producing a shaped article ( 62 ) according to one of claims 1 to 3, wherein during process step d) the pressing pressure is maintained until the temperature has dropped at least 5 ° C below the glass transition temperature of the shape memory polymer. Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers (62) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei Verfahrensschritt d) unter Vakuum erfolgt. Process for producing a shaped article ( 62 ) according to one of claims 1 to 4, wherein process step d) takes place under vacuum. Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers (62) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei das Aufbringen des Polymerfilms auf die planare Folie (12) mittels Spincoating erfolgt. Process for producing a shaped article ( 62 ) according to one of claims 1 to 5, wherein the application of the polymer film to the planar film ( 12 ) takes place by means of spincoating. Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers (62) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei während Verfahrensschritt e) ein Gasdruck eingesetzt wird. Process for producing a shaped article ( 62 ) according to one of claims 1 to 6, wherein during process step e) a gas pressure is used. Formkörper (62), umfassend eine strukturierte Folie (11) mit einer ersten Struktur (3), auf der ein verformter strukturierter Polymerfilm (22) mit einer Unter- und einer Oberseite aufgebracht ist, der mit seiner Unterseite fest mit einer Oberfläche der strukturierten Folie (11) verbunden ist und auf seiner Oberseite eine von der ersten Struktur (3) unabhängige zweite Struktur (5) aufweist, wobei die zweite Struktur (5) eine Tiefe unter 500 nm aufweisen. Molded body ( 62 ) comprising a structured film ( 11 ) with a first structure ( 3 ) on which a deformed structured polymer film ( 22 ) is applied with a bottom and a top, which with its underside fixed to a surface of the structured film ( 11 ) and on his Top one of the first structure ( 3 ) independent second structure ( 5 ), the second structure ( 5 ) have a depth below 500 nm. Formkörper (62) nach Anspruch 7, wobei die strukturierte Folie (11), umfassend ein Formgedächtnispolymer, der aus einem thermoplastischen Elastomer besteht, und wobei der verformte strukturierte Polymerfilm (20) ein thermoplastischer Elastomer umfasst. Molded body ( 62 ) according to claim 7, wherein the structured film ( 11 ) comprising a shape memory polymer consisting of a thermoplastic elastomer, and wherein the deformed structured polymer film ( 20 ) comprises a thermoplastic elastomer. Formkörper (62) nach Anspruch 8 oder 9, wobei die zweite Struktur (5) Hinterschnitte aufweist. Molded body ( 62 ) according to claim 8 or 9, wherein the second structure ( 5 ) Has undercuts. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6 zur Herstellung von Antireflexbeschichtungen für Solarzellen und optische Detektoren, farbpigmentfreie farbige Flächen mit Selbstreinigungseffekt oder Mikrokanäle mit strukturierten Wänden.  Use of the method according to one of claims 1 to 6 for the production of antireflection coatings for solar cells and optical detectors, color pigment-free colored surfaces with self-cleaning effect or microchannels with structured walls.
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